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更新時(shí)間:2024-09-16 21:00:06
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納米壓痕試驗(yàn)儀規(guī)格 | |
zui大壓痕深度 | 4µm & 25µm自動(dòng)距離修正(1000µm可選配) |
深度分辨率(理論) | 0.006nm |
深度分辨率(防振臺(tái)*) | 0.5nm |
zui大負(fù)載 | 50mN & 500mN自動(dòng)距離修正 |
負(fù)載分辨率(理論) | 0.08µN |
負(fù)載分辨率(防振臺(tái)*) | 1µN |
X-Y運(yùn)動(dòng)范圍 | 200 x 100毫米 |
X-Y橫向分辨率 | 0.15µm |
Z向馬達(dá) | 90毫米 |
物鏡鏡頭 | 標(biāo)準(zhǔn): 10x, 50x, 100x (選配: 5x, 20x) |
* 依賴實(shí)驗(yàn)室環(huán)境 |
(空格分隔,最多3個(gè),單個(gè)標(biāo)簽最多10個(gè)字符)