FS4000微型氣體流量傳感器是專門為各類小流量氣體的測量和過程控制而設計的。這一系列傳感器均采用本公司自主研發(fā)的微機電系統(tǒng)（MEMS）流量傳感芯片來制作，適用于各類清潔氣體。*的封裝技術使之可用于各類管徑，成本低、易安裝、不需要溫度壓力補償，可替代容積式或壓差式的傳統(tǒng)流量傳感器。
 
FS4000微型氣體流量傳感器產品概述: 
siargo ltd FS4003流量傳感器，管道內徑為3mm，成本低測量范圍zui大到5SLPM；適用于粒子計數(shù)器和各類分析儀器。
siargo ltd FS4008流量傳感器，管道內徑為8mm，測量范圍zui大到50SLPM；
產品特點: 
   - 專為管徑3mm和8mm的氣管中的低壓氣體流量測量而設計 
  - 支持多種連接方式，易于安裝與使用 
    - 傳感芯片采用熱質量流量計量，無需溫度壓力補償，保證了傳感器的高精度計量 
    - 在單個芯片上實現(xiàn)了多傳感器集成，使其量程比達到了100:1甚至更高 
    - 輸出方式靈活，既可通過通訊接口主動上傳數(shù)據(jù)或由上位機查詢輸出數(shù)據(jù)，也可通過模擬接口輸出線性的模擬電壓 
    - 零點穩(wěn)定度高 
    - 全量程高穩(wěn)定性、高精確度和優(yōu)良的重復性 
    - 低功耗、低壓損 
    - 響應速度快 
產品特點: 

性能參數(shù) FS4003 FS4008 單位 
通 徑 3 8 mm 
zui大流量 2, 3, 4, 5 10, 20, 30, 40, 50 SLPM 
量程比 100:1  
精 度 ±(1.5+0.2FS) % 
重復性 0.75 % 
零點輸出飄移 ±30 mV 
輸出飄移 0.12 %/oC 
響應時間 100 ms 
工作電源 8~18Vdc,100mA   
輸出方式 線性，RS232/模擬電壓0.5~4.5Vdc   
zui大流量壓損 100 600 pa 
zui大工作壓力 0.5 MPa 
工作溫度 -10 ~ +55 oC 
存儲溫度 -20 ~ +65 oC 
工作濕度 <95%RH（無結冰、無凝露）   
機械接口 BSPT1/4(R1/4),4mm/6mm/8mm快速接頭  
校準方式 空氣（或其他氣體），20oC，101.325kPa  
重量 57（帶R1/4,BSPT1/4接口）
71(帶4mm，8mm快速接口，68（帶6mm快速接頭) 
英文說明
Unit performance parameters FS4003 FS4008 
3 8 mm diameter 
Maximum flow 2, 3, 4, 5 10, 20, 30, 40, 50 SLPM 
100:1 turndown ratio 
Accuracy ± (1.5 +0.2 FS)% 
Repeatability 0.75% 
Zero drift ± 30 mV 
Output drift 0.12% / oC 
Response time 100 ms 
Power Supply 8 ~ 18Vdc, 100mA 
Linear output, RS232 / analog voltage 0.5 ~ 4.5Vdc 
Maximum flow pressure loss 100 600 pa 
Maximum working pressure of 0.5 MPa 
Operating temperature -10 ~ +55 oC 
Storage temperature -20 ~ +65 oC 
Humidity <95% RH (with no icing or condensation) 
Mechanical interface BSPT1 / 4 (R1 / 4), 4mm/6mm/8mm quick connector 
Calibration methods of air (or other gases), 20oC, 101.325kPa 
Weight of 57 (with R1 / 4, BSPT1 / 4 interface) 
71 (with 4mm, 8mm fast interface, 68 (with 6mm quick connector)