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資料下載

日本理音RION KS-93粒子傳感器資料下載

最近更新時(shí)間：2015-12-24

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詳細(xì)介紹：

日本理音RION KS-93粒子傳感器   產(chǎn)地：日本

Now capable of measuring 0.1 µm particles in semiconductor special material gases 
Simultaneous 5-channels particle measurement 
Rated flow rate:100mL/min, max.300 mL/min. 
Direct measurement of inert gas as well as corrosive, reactive and other gases 
Realizes leak-tight, outgas-free conditions without dead space 
Supports to SiH4, SiHCl3, HBr, NH3, PH3, HCl,etc. 

< Specification >

 

Optical systemsideway light-scattering system
Light sourceLaser diode
Particle size measurement ranges5 channels (0.1, 0.15, 0.2, 0.3, 0.5µm)
Flow rate100 mL/min
Max. Concentration30,000/min (counting loss within 5%)
Dimensions and weightApprox. 280(H) X 135(W) X 150(D) mm, Approx. 6.5 kg

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