一、單晶硅差壓變送器工作原理
利用單晶硅的壓阻效應而構成。采用單晶硅片為彈性元件,在單晶硅膜片上利用集成電路的工藝,在單晶硅的特定方向擴散一組等值電阻,并將電阻接成橋路,單晶硅片置于傳感器腔內(nèi)。當壓力發(fā)生變化時,單晶硅產(chǎn)生應變,使直接擴散在上面的應變電阻產(chǎn)生與被測壓力成比例的變化,再由橋式電路獲得相應的電壓輸出信號。
二、單晶硅差壓變送器技術參數(shù)
測量范圍
相對壓力:0~400Pa~35MPa
絕對壓力:0~1.75KPa~35MPa
信號輸出
4-20mA +HART通訊協(xié)議(兩線制)
測量精度
綜合誤差:(包括線性度、重復性、遲滯),特殊要求可定0.075%
長期穩(wěn)定性
每年優(yōu)于0.15%F.S
五年優(yōu)于0.2%F.S
溫度范圍
允許介質(zhì)溫度:(-40~120)℃
允許環(huán)境溫度:(-40~85)℃
允許儲存溫度:(-40~85)℃
溫度影響
相對于25℃:≤±0.4%標準量程
阻尼時間
0~40S連續(xù)可調(diào)
抗震動:2g 1000HZ ±0.05%g
抗沖擊:50g 11mesc
電磁兼容特性:符合IEC801標準
傳感器允許過壓:標準量程3倍壓力
零點最小報警電流范圍:3.8mA
滿度最大報警電流范圍:21mA
啟動時間:3S 無需預熱
與介質(zhì)接觸部分材料
過程連接件:不銹鋼316, 哈氏合金C
傳感器膜片:不銹鋼316, 哈氏合金C
與介質(zhì)非接觸部分材料
外殼: 壓鑄鋁帶環(huán)氧樹脂涂層
傳感器充灌液:硅油 厭氧油
現(xiàn)場顯示:液晶3 1/2精度數(shù)字式顯示器 液晶模擬條狀顯示器
防護等級:IP66
重量:約1Kg
防爆等級防爆型 Ex d ⅡC T5 ,本安型 Ex ia ⅡC T5
允許環(huán)境濕度:100%RH