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更新時(shí)間：2024-07-10 08:15:19瀏覽次數(shù)：1089評(píng)價(jià)
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| 產(chǎn)地類別 | 國產(chǎn) | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 環(huán)保,化工,電子 |
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在線壽命和電阻率掃描儀
MDPlinescan被設(shè)計(jì)成一個(gè)易于集成的OEM單元，用于集成到各種自動(dòng)化檢測(cè)上。關(guān)鍵測(cè)量是少子壽命掃描。樣品通常由測(cè)量探頭下面的傳送帶或機(jī)器人系統(tǒng)傳送。應(yīng)用實(shí)例范圍從磚塊到晶片檢查，測(cè)量速度小于每晶片一秒。電池生產(chǎn)線的進(jìn)料質(zhì)量調(diào)查是常見的應(yīng)用案例，以及在鈍化和擴(kuò)散之后的工藝質(zhì)量檢查，在許多其他的專業(yè)應(yīng)用領(lǐng)域也有很大的可能性。只需要集成以太網(wǎng)連接和電源就可以了。包括附加電阻率測(cè)量選項(xiàng)。
優(yōu)勢(shì)
在µ-PCD或穩(wěn)態(tài)激發(fā)條件下測(cè)量少子壽命和電阻率線掃描是該儀器設(shè)計(jì)的重點(diǎn)。
集成OEM單元的生產(chǎn)，用于多晶或單晶硅晶片在不同工藝階段直至器件、磚塊或錠子的生產(chǎn)線的整合。
小尺寸和標(biāo)準(zhǔn)自動(dòng)化接口易于集成。重點(diǎn)在于測(cè)量結(jié)果的長(zhǎng)期可靠性和精密度。
(空格分隔,最多3個(gè),單個(gè)標(biāo)簽最多10個(gè)字符)
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