傳感器按照其制造工藝分類(lèi)
集成傳感器薄膜傳感器 厚膜傳感器陶瓷傳感器
集成傳感器是用標(biāo)準(zhǔn)的生產(chǎn)硅基半導(dǎo)體集成電路的工藝技術(shù)制造的。
通常還將用于初步處理被測(cè)信號(hào)的部分電路也集成在同一芯片上。

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傳感器按照其制造工藝分類(lèi)
集成傳感器薄膜傳感器 厚膜傳感器陶瓷傳感器
集成傳感器是用標(biāo)準(zhǔn)的生產(chǎn)硅基半導(dǎo)體集成電路的工藝技術(shù)制造的。
通常還將用于初步處理被測(cè)信號(hào)的部分電路也集成在同一芯片上。
薄膜傳感器則是通過(guò)沉積在介質(zhì)襯底（基板）上的，
相應(yīng)敏感材料的薄膜形成的。使用混合工藝時(shí)，
同樣可將部分電路制造在此基板上。 　　
厚膜傳感器是利用相應(yīng)材料的漿料，涂覆在陶瓷基片上制成的，
基片通常是Al2O3制成的，然后進(jìn)行熱處理，使厚膜成形。 　　
陶瓷傳感器采用標(biāo)準(zhǔn)的陶瓷工藝或其某種變種工藝（溶膠-凝膠等）生產(chǎn)。 　　
完成適當(dāng)?shù)念A(yù)備性操作之后，已成形的元件在高溫中進(jìn)行燒結(jié)。
厚膜和陶瓷傳感器這二種工藝之間有許多共同特性，在某些方面，
可以認(rèn)為厚膜工藝是陶瓷工藝的一種變型。 　　
每種工藝技術(shù)都有自己的優(yōu)點(diǎn)和不足。由于研究、
開(kāi)發(fā)和生產(chǎn)所需的資本投入較低，
以及傳感器參數(shù)的高穩(wěn)定性等原因，
采用陶瓷和厚膜傳感器比較合理。
P+F NBN8-18GM50-E2-C-V1
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