真空管式電阻爐，具有合理的性能設(shè)計，集多項功能于一身，安全性，可靠性，實用性均達理想效果。
1．溫度1700℃,加熱區(qū)為300mm。
2.爐體采用雙層爐殼結(jié)構(gòu)，雙層爐殼之間裝有風機，可以快速升降溫，爐殼表面溫度低。 
3.爐管采用99高純剛玉管、兩端采用SUS304高真空法蘭密封。
4.爐膛材料采用優(yōu)質(zhì)的進口氧化鋁是多晶纖維真空吸附制成，節(jié)能50%，加熱爐膛為一體化，方便取放實驗物料、更換爐管。加熱元件采用硅鉬棒。
5、電爐溫度控制系統(tǒng)采用人工智能調(diào)節(jié)技術(shù)，儀表控制精度為±1℃，具有PID調(diào)節(jié)、模糊控制、自整定能力并可編制各種升溫程序，具有超高溫報警功能，具有熱電偶損壞斷電功能，具有內(nèi)置參數(shù)密碼控制功能。
6、升溫速度為0-20℃/min，可編寫30段的自動升溫程序，可控硅控制，配備數(shù)顯的LED電壓表、電流表，選用B型熱電偶。
7、可選配RS-485通訊接口，數(shù)據(jù)管理軟件，具有無紙記錄歷史數(shù)據(jù)和升溫曲線，校正溫度的偏離誤差的功能，可以管理多臺設(shè)備和遠程故障的診斷分析。
8、多種安全防護設(shè)計，安全性能好，使用壽命長。
9、電爐可以抽真空、通氣氛，真空度可以達到10pa（機械泵），如果需要更高真空度可以選擇分子泵，達到6.67x10-3pa。
10、爐體尺寸：704x695x1100mm（深x寬x高），重量：210kg。
一  真空管式電阻爐標準配置：
1、304的不銹鋼法蘭1套
2、密封圈4只
3、爐塞 4只
4、爐勾 1把
5、說明書、保修卡、合格證 1套
6、剛玉管 1支
二  選配配置：
1、玻璃轉(zhuǎn)子流量計、質(zhì)子流量計和進出口管道
2、真空泵（機械泵、分子泵）
3、安裝調(diào)試，培訓
4、剛玉坩堝
5、備品備件
6、報警器（超溫、設(shè)備異常）與蜂鳴器（設(shè)備運行結(jié)束提示
7、自動進氣（氣體保護）、自動放氣（超壓）、自動抽真空
8、一路及多路CVD供氣系統(tǒng)
9、真空計

三技術(shù)參數(shù)：