目錄:上海爾迪儀器科技有限公司>>Diener>>等離子表面處理儀>> Diener 等離子表面處理儀 Tetra100
| 產(chǎn)地類別 | 國產(chǎn) | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 醫(yī)療衛(wèi)生,環(huán)保,生物產(chǎn)業(yè),農(nóng)業(yè) |
|---|---|---|---|
| 外形尺寸 | 600x850x1700 | 工藝氣體 | O2、Ar、N2、CO、H2、Air、CF4、NH3、SF6 |
| 流量計(jì) | MFC數(shù)字氣質(zhì)流量計(jì) | 不銹鋼真空腔體尺寸 | W400xD625xH400/100L |
| 鋁合金真空腔體尺寸 | W400xD625xH400/100L | 真空壓力計(jì) | 皮拉尼傳感器(0~9.99mbar) |
Diener 等離子表面處理儀 Tetra100
·便捷的觸摸屏操作界面
·數(shù)字及圖標(biāo)多重工藝參數(shù)實(shí)時(shí)顯示方式
·異常報(bào)警功能
·自動/手動操作模式可切換
·儲存多套工藝程序
·遠(yuǎn)程操控，數(shù)據(jù)導(dǎo)出
·模塊多樣化選擇，多層托盤可選，處理量大
型號 | Tetra 100 | ||
控制系統(tǒng) | 控制方式 | 全自動控制（自動/手動切換） | |
BASIC PC | FULL PC | ||
操作系統(tǒng) | Windows CE | Windows 10 | |
觸摸屏 | 3.5/7” | 7/15” | |
工藝氣體 | O2 Ar N2 Air SF6 CF4等 | ||
工藝氣路 | 1-3路（可選） | 1-10路（可選） | |
流量計(jì) | MFC /防腐型MFC | ||
真空腔體 | 不銹鋼W400xD625xH400/100L 鋁合金W400xD625xH400/100L | ||
電極 | 材質(zhì) | 鋁/不銹鋼電極 | |
層數(shù)（可選） | 1-10（可選） 1-2層 1-5層 | ||
發(fā)生器
| 40kHz 0-1500W 80kHz 0-1000W 0-3000W 13.56MHz 0-300W/0-600W/0-1000W 2.45GHz 0-1200W | ||
真空壓力計(jì)（mba) | 皮拉尼傳感器（0-9.99) | ||
托盤 | 不銹鋼/鋁 | 實(shí)板/鏤空 | |
層數(shù) | 1-10（可選） | ||
外形尺寸WDH（mm) | 600x850x1700(2100) | ||
電源 | AC400 V / 16 A | ||
真空泵抽氣速度 | 根據(jù)工藝選擇 | ||
選配件 | 單體導(dǎo)入模塊、遠(yuǎn)程控制系統(tǒng)、防腐系統(tǒng)、氣浴、托盤/腔體冷卻系統(tǒng)、加熱模塊、RIE電極（刻蝕）、石英舟、干泵 | ||
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