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鳳鳴亮非接觸測(cè)厚半導(dǎo)體材料激光在線檢測(cè)儀
一,應(yīng)用背景:
非接觸式測(cè)厚儀顧名思義就是測(cè)量?jī)x器與被測(cè)物體之間是無接觸就可測(cè)量厚度的,能夠很好的保護(hù)所測(cè)物體。在工業(yè)生產(chǎn)中多用來連續(xù)測(cè)量產(chǎn)品的厚度(如鋼板、鋼帶、半導(dǎo)體晶元片,紙張、涂層、板材、薄膜、片材等)。非接觸式測(cè)厚儀有激光測(cè)厚儀、電渦流測(cè)厚儀,根據(jù)應(yīng)用不同,又可分為薄膜測(cè)厚儀,鍍層測(cè)厚儀和板材測(cè)厚儀激光測(cè)厚儀 激光在線測(cè)厚儀是新一代研制的在線、動(dòng)態(tài),非接觸式的測(cè)厚儀。它集激光技校,光電檢測(cè)技校和計(jì)算機(jī)工業(yè)控制技術(shù)三者于一身,可廣泛用于生產(chǎn)線上對(duì)各種材料的厚度進(jìn)行在線的實(shí)時(shí)測(cè)厚,是我國(guó)工業(yè)生產(chǎn)線產(chǎn)品質(zhì)量控制的重要設(shè)備。 主要技術(shù)特點(diǎn): 非接觸式、在線測(cè)厚 采樣速度快(達(dá):10000個(gè)/秒)、精度高,工作穩(wěn)定,操作簡(jiǎn)單 厚度范圍0~30mm(或可按要求設(shè)定范圍) 精度高可達(dá)2um。 主要應(yīng)用領(lǐng)域: 半導(dǎo)體材料,電池行業(yè),防水卷材,橡膠、壓延冷軋鋼銅鋁板帶行業(yè)、朔料薄膜生產(chǎn)行業(yè)、機(jī)械、輕工等行業(yè)。激光測(cè)厚儀在工業(yè)生產(chǎn)中多用來連續(xù)測(cè)量產(chǎn)品的厚度。由于其種類繁多,在各個(gè)領(lǐng)域都有
二,鳳鳴亮非接觸測(cè)厚半導(dǎo)體材料激光在線檢測(cè)儀應(yīng)用領(lǐng)域:
LTG-680型在線激光測(cè)厚儀是一個(gè)非接觸式的板材,帶材,片材,卷材和半導(dǎo)體材料的厚度測(cè)量系統(tǒng),控制材料厚度在工業(yè)生產(chǎn)中非常重要,LTG-680型在線激光測(cè)厚系統(tǒng)可以用較少的時(shí)間來確保這一功能的實(shí)現(xiàn),系統(tǒng)會(huì)在產(chǎn)品不合格的情況下立即發(fā)出聲和光的警報(bào)來提高產(chǎn)品的質(zhì)量以減少?gòu)U品,這種強(qiáng)大的程序監(jiān)控系統(tǒng)既可以增加產(chǎn)量同時(shí)也節(jié)約了原材料和能源。
LTG-800型在線激光測(cè)厚儀運(yùn)用先進(jìn)的激光三角測(cè)量技術(shù)并采用非接觸可掃描方法進(jìn)行測(cè)厚,10KHz的高速取樣頻率和0.0001mm的高分辨率,這種方法較之前的接觸式測(cè)厚更值得信賴并且維修費(fèi)低,另外有一個(gè)好處是沒有產(chǎn)品標(biāo)記或壓迫,激光主機(jī)安裝在我們*的一個(gè)安裝支架上,免維修且不需要對(duì)光學(xué)主機(jī)進(jìn)行日常的清理,也不需要進(jìn)行頻繁的校準(zhǔn),即使在高速運(yùn)作和持續(xù)生產(chǎn)的情況下,激光技術(shù)可以保證不存在盲區(qū),可以進(jìn)行點(diǎn)到點(diǎn)的*測(cè)厚。以Windows為基礎(chǔ)的系統(tǒng)軟件有很多的設(shè)置功能,實(shí)時(shí)圖像顯示,顯示每塊面板,警報(bào)特征,厚度趨勢(shì)圖,產(chǎn)品庫(kù)以及用戶數(shù)據(jù)庫(kù),另外產(chǎn)品統(tǒng)計(jì)也可以根據(jù)需求進(jìn)行編寫呈現(xiàn)或打印。該系統(tǒng)已經(jīng)實(shí)施過十多年, 在電池/電容行業(yè)和各種面板生產(chǎn)工廠,壓延冷軋金屬板帶生產(chǎn)廠,塑料薄膜,玻璃纖維生產(chǎn)廠中的不同應(yīng)用, 包括很多的壓力機(jī)既有單種類型的也有多種開放類型的,也有在磨砂機(jī)后或在精整作業(yè)線上的。
三,鳳鳴亮非接觸測(cè)厚半導(dǎo)體材料激光在線檢測(cè)儀產(chǎn)品優(yōu)勢(shì):
• 任何速度下都高精度 。
• 非接觸式,高精度,低維修
• 表面無標(biāo)記
• 可測(cè)量薄板、卷材、板材
• 產(chǎn)量高
• 能適應(yīng)惡劣環(huán)境
LTG-680型在線激光測(cè)厚系統(tǒng)在惡劣環(huán)境下能保持高精準(zhǔn)度和低維修,在提供激光在線測(cè)厚系統(tǒng)方面有著豐富的經(jīng)驗(yàn),根據(jù)不同的應(yīng)用,LTG-680型在線激光測(cè)厚系統(tǒng)可以進(jìn)行配置高性能的空氣凈化系統(tǒng)保持干凈和通風(fēng)來適應(yīng)悶熱和潮濕的環(huán)境。
達(dá)到高精準(zhǔn)度不僅僅是運(yùn)用精準(zhǔn)度高的激光光學(xué)主機(jī)那么簡(jiǎn)單,機(jī)械設(shè)計(jì)同樣非常重要,光學(xué)主機(jī)安裝支架運(yùn)用了低膨脹系數(shù)的材料和關(guān)鍵部位的應(yīng)力消除通過退火的方式來減少熱變形。這樣就會(huì)形成一個(gè)穩(wěn)定的測(cè)量系統(tǒng)而不需要頻繁的調(diào)整,在大部分的生產(chǎn)線,物料會(huì)發(fā)生振動(dòng),我們有一個(gè)系統(tǒng)可以不受振動(dòng)的影響并且精準(zhǔn)度高,這個(gè)是通過測(cè)量不同厚度和高速記錄采樣,頻率為10KHz赫茲的探頭來實(shí)現(xiàn)的。
四,典型應(yīng)用:
LTG-680型在線激光測(cè)厚系統(tǒng)是一個(gè)高精準(zhǔn)度的非接觸式厚度測(cè)量?jī)x器。不管是測(cè)量軟木板還是硬木板,厚的還是薄的都可以提供高精準(zhǔn)度的測(cè)量。
典型應(yīng)用及其精度:
典型應(yīng)用 | 精度參數(shù) |
中密度纖維版/刨花板/定向刨花板/膠合板/石膏板 | ±0.01mm |
硬紙板/薄木板/硬質(zhì)泡沫塑膠 | ±0.002mm |
鋼板 | ±0.002mm |
薄片/鋁箔/銅箔/鋁電池極片 | ±0.002mm |
玻璃板/橡膠板 | ±0.01mm |
塑料薄板/涂層 晶元片 | ±0.002mm |
典型應(yīng)用的技術(shù)參數(shù)(人造板行業(yè)應(yīng)用):
測(cè)量范圍:0.1-30mm
測(cè)量精度:±0.02mm
分辨率:0.001mm
取樣頻率:10000Hz
工作溫度:0-35oC
波長(zhǎng):650nm
激光等級(jí): 3B
防護(hù)等級(jí):IP67
線性度:±0.05%
典型應(yīng)用的技術(shù)參數(shù)(鋁箔、銅箔、鋁電池極片行業(yè)應(yīng)用):
測(cè)量激光波長(zhǎng):650nm可見光ClassⅡ(FDA)
激光功率:10mW max
激光線性度:±0.05% F.S
分辨率:100nm(測(cè)量范圍10mm)
測(cè)量精度:±2μm
測(cè)量頻率:10KHz
輸出信號(hào):RS232
輸入電源:115-230VAC 50/60Hz 200VA
掃描速度:0-200mm/s
數(shù)字輸入控制:掃描、校準(zhǔn)、復(fù)位
軟件環(huán)境:專有測(cè)量軟件進(jìn)行系統(tǒng)控制、數(shù)據(jù)處理及存儲(chǔ)
測(cè)量范圍:0-6mm(系統(tǒng)設(shè)計(jì)時(shí)可選)
單C型架進(jìn)深:長(zhǎng)度可至680 mm
測(cè)量范圍:0 mm≤厚≤32mm;0 mm≤寬≤680mm
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