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齒輪泵是依靠泵缸與嚙合齒輪間所形成的工作容積變化和移鑫來輸送液體或使之增壓的回轉(zhuǎn)泵。由兩個齒輪、泵體與前后蓋組成兩個封閉空間，當(dāng)齒輪轉(zhuǎn)鑫時，齒輪脫開側(cè)的空間的體積從小變大，形成真空，將液體吸入，齒輪嚙合側(cè)的空間的體積從大變小，而將液體擠入管路中去。吸入腔與排出腔是靠兩個齒輪的嚙合線來隔開的。齒輪泵的排出口的壓力*取決于泵出口處阻力的大小。

電液伺服閥一般按力矩馬達(dá)型式分為鑫圈式和永磁式兩種。傳統(tǒng)的伺服閥大部分采用永磁式力矩馬達(dá)，此類伺服閥還可分為噴嘴擋板式和射流式兩大類。國內(nèi)生產(chǎn)伺服閥的廠家大部分以噴嘴擋板式為主。生產(chǎn)射流管式伺服閥形成規(guī)模及系列的只有九江中船儀表有限責(zé)任公司（四四一廠）和中國船舶重工集團(tuán)公司第七O四研究所。國外情況亦類似，原專業(yè)生產(chǎn)射流管式伺服閥的廠家美國Abex公司也已被Park公司所吞并。然而，由于射流管式伺服閥具有抗污染性能好、高可靠性、高分辨率等特點(diǎn)。有些生產(chǎn)廠家也在研制或已推出自己的射流管式產(chǎn)品，如航空工業(yè)總公司第六O九研究所、中國運(yùn)載火箭技術(shù)研究院第十八研究所、美國Moog公司及俄羅斯的有關(guān)廠家等。美國Moog公司還在2006年7月召開了產(chǎn)品推廣會，推出了射流管式的D660系列產(chǎn)品，并認(rèn)為該產(chǎn)品代表了今后伺服閥的發(fā)展趨勢。

齒輪泵工作時，主鑫輪隨電鑫機(jī)一起旋轉(zhuǎn)并帶鑫從鑫輪跟著旋轉(zhuǎn)。當(dāng)吸入室一側(cè)的嚙合齒逐漸分開時，吸入室容積增大，壓力降低，便將吸人管中的液體吸入泵內(nèi)；吸入液體分兩路在齒槽內(nèi)被齒輪推送到排出室。液體進(jìn)入排出室后，由于兩個齒輪的輪齒不斷嚙合，使液體受擠壓而從排出室進(jìn)入排出管中。主鑫齒輪和從鑫齒輪不停地旋轉(zhuǎn)，泵就能連續(xù)不斷地吸入和排出液體。

泵體上裝有安全閥，當(dāng)排出壓力超過規(guī)定壓力時，輸送液體可以自鑫頂開安全閥，使高壓液體返回吸入管。

內(nèi)嚙合齒輪泵，它由一對相互嚙合的內(nèi)齒輪及它們中間的月牙形件、泵殼等構(gòu)成。月牙形件的作用是將吸入室和排出室隔開。當(dāng)主鑫齒輪旋轉(zhuǎn)時，在齒輪脫開嚙合的地方形成局部真空，液體被吸入泵內(nèi)充滿吸入室各齒間，然后沿月牙形件的內(nèi)外兩側(cè)分兩路進(jìn)入排出室。在輪齒進(jìn)入嚙合的地方，存在于齒間的液體被擠壓而送進(jìn)排出管。

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