目錄:南通儀創(chuàng)實驗儀器有限公司>>超臨界二氧化碳清洗系列>> SFE-35型超臨界二氧化碳超聲清洗系統(tǒng)
| 產(chǎn)地類別 | 國產(chǎn) | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 化工 |
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SFE-35型超臨界二氧化碳超聲清洗系統(tǒng)
一、概述：
超臨界二氧化碳無損傷清洗設(shè)備。應(yīng)用此設(shè)備對硅片進(jìn)行清洗的顆粒明顯減少，且平均粒徑小于傳統(tǒng)清洗的粒徑。相對用等離子法清洗，該方法不會對硅片造成損傷，同時可減少工藝步驟，節(jié)省時間，提高工作效率。
超臨界二氧化碳無損傷清洗設(shè)備擁有良好的溫度和壓力控制系統(tǒng)，并配有遠(yuǎn)程智能化操作系統(tǒng)，是一個適合高校和科研機(jī)構(gòu)的半導(dǎo)體工藝平臺。該設(shè)備有望解決微電子行業(yè)清洗工藝中的許多難題，例如刻蝕以及灰化后高縱深比結(jié)構(gòu)清洗、刻蝕以及灰化后多孔低介電材料清洗、清洗后干燥、半導(dǎo)體器件金屬顆粒的清洗等
超臨界超聲清洗目前應(yīng)用領(lǐng)域很廣的是核電特種清洗、電子電路芯片的清洗以及精密機(jī)加工件的表面和層隙清洗。
二、應(yīng)用范圍：
在半導(dǎo)體方面，超臨界二氧化碳清洗逐步代替刻蝕及灰化后產(chǎn)生的高縱深比機(jī)構(gòu)和成品芯片上的輔焊劑、金屬殘屑采用傳統(tǒng)的去離子水沖洗、酸蝕浸泡清洗、清洗劑清洗；
在新能源電動汽車制造方面，超臨界二氧化碳清洗正被應(yīng)用于對車輪轂層析片微隙間的清洗油污、微粒作業(yè)；
在精密工件以及鈾屑方面，超臨界二氧化碳清洗的優(yōu)勢得到很大的發(fā)揮，其具有的清洗物分離簡單，收集方便，表面無需處理、環(huán)保節(jié)能被發(fā)揮得*；
三、SFE-35型超臨界二氧化碳超聲清洗系統(tǒng)主要技術(shù)參數(shù)：
主 要 性 能 指 標(biāo) | 序號 | 項目名稱 | 性能參數(shù) |
1 | 工作壓力 | ≤40MPa | |
2 | 工作溫度 | 室溫～90℃ | |
3 | 超聲波清洗釜 | 35L/40MPa | |
4 | 清洗工裝 | 懸盤結(jié)構(gòu) 60-120r/min | |
5 | 超聲波功率 | 2×1kW | |
6 | 清洗釜 | 35L/40MPa | |
7 | 清洗工裝 | 層式彈性結(jié)構(gòu) 1-8層 | |
8 | 回收釜 | 2×10L/30MPa | |
9 | 制冷系統(tǒng) | 12000kcal/h 溫控范圍：-5℃～﹢5℃ 風(fēng)冷 | |
| 二氧化碳儲罐 | 20L/16MPa | |
| 二氧化碳泵 | 400L/h 40MPa 三柱塞變頻可調(diào) 泵頭帶冷卻 | |
| 助溶劑泵 | 4L/h 50MPa 雙柱塞機(jī)械調(diào)節(jié) | |
| 自動化系統(tǒng) | 液壓伺服控制，實現(xiàn)自動與手動切換 | |
| 電源 | AC380V 50Hz 三相五線 30kW |
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