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雖然疫情影響了整個(gè)地球村，但也沒能阻擋咱“大白"的腳步，飛越了半個(gè)地球，終于入駐西安771研究所啦！祝賀~

首先來給大家隆重介紹一下： “大白"是NANO-MASTER設(shè)計(jì)生產(chǎn)的LSC-5000型雙系統(tǒng)全自動(dòng)無損兆聲單晶圓FSI清洗及刻蝕清洗機(jī)（背面多晶去除），她集成了2個(gè)Cassette的機(jī)械手全自動(dòng)上下片功能、去離子水清洗、兆聲清洗 、化學(xué)液清洗、PVA軟刷清洗、遠(yuǎn)程自動(dòng)加液、氮?dú)馑Ω杉凹t外燈烘干等功能于一身的干進(jìn)干出一體化系統(tǒng)。

下面來具體說說，集功能、智慧、美貌于一身的“大白"有哪些顯著優(yōu)勢

兆聲清洗能力：采用均勻兆聲能量沉積。射頻電源提供兆聲能量，可以刻蝕清洗各種殘留物、有機(jī)無機(jī)污染物、微塵顆粒、以及多晶去除等，可以支持0.18um~0.13um的IC工藝應(yīng)用。兆聲能量通過脈沖噴嘴傳遞到晶圓上，并通過化學(xué)液手臂徑向擺動(dòng)，實(shí)現(xiàn)均勻的兆聲能量傳輸。另外，NANO-MASTER無損保證，在損傷閾值上的大能量均勻分布于晶圓表面，并實(shí)現(xiàn)無損清洗，真是太棒了！

化學(xué)液手臂

化學(xué)液類型及遠(yuǎn)程自動(dòng)加液：LSC-5000可支持有機(jī)溶劑：HNO₃，HF，NH₄OH， H₂O₂，HCl 等，當(dāng)然也可以根據(jù)用戶需要進(jìn)行配置哦，可包含*酸強(qiáng)堿等。遠(yuǎn)程加液槽還能實(shí)現(xiàn)不同試劑按照不同比例混合、化學(xué)液濃度監(jiān)控、及化學(xué)液加熱（可加熱到70°±2℃）等功能呢！遠(yuǎn)程控制加液槽配套兆聲流量計(jì)、氣動(dòng)閥門和液位傳感器，可以實(shí)現(xiàn)遠(yuǎn)程全自動(dòng)沖洗和加液。另外還有個(gè)貼心的小設(shè)計(jì)——化學(xué)液的分配噴嘴配套回吸閥，可以防止液體滴漏。不得不說，NANO-MASTER的設(shè)計(jì)實(shí)在太暖又太有實(shí)力了，可以省好多人力呢！

PVA刷子清洗：作為一名專業(yè)的晶圓清洗機(jī)，刷子的作用當(dāng)然也是不容小覷的，“大白"擁有的是PVA超軟無損刷，支持旋轉(zhuǎn)清洗，轉(zhuǎn)速可達(dá)400RPM哦！PVA刷子可以清潔晶圓上的污點(diǎn)，同時(shí)它還具有自潔能力，所清洗的污染物不會(huì)黏附在PVA刷上。在清洗機(jī)休息時(shí)，還能實(shí)現(xiàn)去離子水定時(shí)濕潤。保證讓你在使用“大白"時(shí)沒有一點(diǎn)后顧之憂~

干燥甩干：晶圓清洗完后顆粒回覆怎么辦？“大白"可以實(shí)現(xiàn)旋轉(zhuǎn)甩干，轉(zhuǎn)速可達(dá)2000RPM，另外還可實(shí)現(xiàn)全自動(dòng)紅外燈加熱、氮?dú)獯祾逥IW等。

機(jī)械手自動(dòng)上下片：“大白"的亮點(diǎn)之一，是她包含2個(gè)Cassette的機(jī)械手全自動(dòng)上下載片功能，其中一個(gè)用于待刻蝕清洗的晶圓，另一個(gè)用于已處理完成的晶圓。機(jī)械手臂完成工藝后可以準(zhǔn)確回歸到起始位置，且與刻蝕手臂擁有碰撞互鎖功能。

自動(dòng)機(jī)械臂

友好的控制系統(tǒng)：整個(gè)上下片功能、清洗工藝、遠(yuǎn)程加液系統(tǒng)均通過計(jì)算機(jī)全自動(dòng)控制，具有高度的可重復(fù)性。配套Labview軟件，可以提供友好的操作界面，系統(tǒng)支持不限數(shù)量的菜單，每一個(gè)菜單可以支持1-100個(gè)工藝步驟，可以提供大的工藝彈性。同時(shí)，系統(tǒng)提供三級密碼保護(hù)的用戶訪問權(quán)限，可以實(shí)現(xiàn)不同的分級應(yīng)用。

控制屏幕

外觀體型：這次為771量身定制的“大白"在體型上分為4大模塊：單晶圓FSI清洗系統(tǒng)、兆聲刻蝕及清洗系統(tǒng)（背面多晶去除）、機(jī)械手全自動(dòng)上下片、遠(yuǎn)程自動(dòng)加液系統(tǒng)。這么多高大上的配置，這么豐富的功能，而“大白"的占地面積卻不足15平米！不足15平米！這對實(shí)驗(yàn)室面積原本就很局促的大學(xué)、研究院而言，簡直就是福音??！這樣緊湊精致的設(shè)計(jì)實(shí)在集合了NANO-MASTER很多工程師的智慧呢！另外大白的骨架為不銹鋼304材料，骨架外包采用防腐蝕的PVC材質(zhì)。所有的液體氣體管路等都采用防酸防腐蝕材料，保證您用的放心。

設(shè)備外觀示意圖

應(yīng)用廣泛：NANO-MASTER設(shè)計(jì)的LSC-5000型全自動(dòng)晶圓清洗機(jī)應(yīng)用實(shí)在廣泛，可實(shí)現(xiàn)以下清洗、剝離、去膠、顯影、刻蝕等：

?硅晶片清洗及背面多晶去除

?藍(lán)寶石晶片

?FSI 清洗

?晶片框架上的芯片

?顯示面板

?ITO 涂覆的顯示屏

?帶圖案/不帶圖案的掩模版

?掩模版基板

?帶保護(hù)膜的分劃版

?接觸式掩模版

盡管提出您的需求，NANO-MASTER專業(yè)的工程師可根據(jù)用戶的需求特別定制！我們竭力為您提供專業(yè)、滿意、周到的產(chǎn)品和技術(shù)服務(wù)哦！