M3030A質(zhì)量流量控制器,韓國Linetech M3030A氣體質(zhì)量流量控制器耐壓90bar,可測量腐蝕性氣體,結(jié)構(gòu)緊湊,重復(fù)性高,響應(yīng)時(shí)間快,性價(jià)比高,可廣泛用于設(shè)備配套。韓國LINETECH經(jīng)濟(jì)型氣體質(zhì)量流量控制器Z大流量可測到300SLPM,質(zhì)量流量計(jì)的Z大流量可測到1000SLPM。
M3030A質(zhì)量流量控制器
一、M3030A質(zhì)量流量控制器產(chǎn)品特點(diǎn)
- 測量質(zhì)量流量
- 無需溫度和壓力補(bǔ)償
- 結(jié)構(gòu)緊湊
- 精度高
- 工作壓力高
- 響應(yīng)時(shí)間快
- 重復(fù)性高
二、技術(shù)參數(shù)
型號(hào) | 質(zhì)量流量計(jì) | 質(zhì)量流量控制器 |
流量范圍(N2) | 10SCCM~1000SLPM | 10SCCM ~ 300slpm |
響應(yīng)時(shí)間 | <2 sec | <2 sec |
精準(zhǔn)度 | ≤±1% FS | ≤±1% FS |
重復(fù)精度 | ±0.25% FS | ±0.25% FS |
輸入/輸出信號(hào) | 0~5 Vdc OR 4~20 mA | 0~5 Vdc OR 4~20 mA |
供電電源 | ±15 Vdc or 24 Vdc, 350mA | ±15 Vdc or 24 Vdc, 350mA |
耐壓 | <90bar | 0-30SLPM,<90bar;30-100SLPM,<70bar, 100-300SLPM,<15bar |
工作環(huán)境溫度 | 0~50 °C | 0~50 °C |
漏率 | 1*10E-9 atm cc/sec | 1*10E-9 atm cc/sec |
使用范圍 | 2 ~ 100% | 2~ 100% |
三、接口尺寸