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當(dāng)前位置：英格海德分析技術(shù)有限公司>>在線氣體分析>>HPR-80活潑性/腐蝕性氣體分析儀
| 參 考 價： | 面議 |
產(chǎn)品型號：HPR-80
品 牌：其他品牌
廠商性質(zhì)：代理商
所 在 地：北京市
更新時間：2023-11-22 08:52:54瀏覽次數(shù)：3356
聯(lián)系我時，請告知來自 化工儀器網(wǎng)| 產(chǎn)地類別 | 進口 | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 綜合 |
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HPR-80活潑性/腐蝕性氣體分析儀應(yīng)用：
• 等離子體/反應(yīng)性離子蝕刻研究
• CVD / PVD / MOCVD
• 半導(dǎo)體晶片加工研究
• 真空、等離子體過程
• 活性物質(zhì)定量分析
• HF，HCl，HBr，CFC 研究
HPR-80活潑性/腐蝕性氣體分析儀特點：
• 加熱的電拋光波紋管，快速偶合連結(jié)器
• 可清除的，帶粘性流QIC校正的進樣口用于定量分析
• 高靈敏度至 5 ppb, 質(zhì)量數(shù)為 2500 amu.
• 進樣壓力從 1 mtorr 至大氣壓
• 電容壓力計，壓力檢測可不受分析物影響
• 穩(wěn)定性好 (24h之上，小于峰高±0.5% )
• 軟件 MASsoft 控制
• 矩陣反演，歸一化及單峰參考
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