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當(dāng)前位置：英格海德分析技術(shù)有限公司>>在線氣體分析>>氣體分析質(zhì)譜儀>>HPR-80腐蝕性氣體分析質(zhì)譜儀
| 參 考 價： | 面議 |
更新時間：2023-11-22 10:13:43瀏覽次數(shù)：6406
聯(lián)系我時，請告知來自 化工儀器網(wǎng)| 產(chǎn)地類別 | 進口 | 價格區(qū)間 | 100萬-150萬 |
|---|---|---|---|
| 檢測限 | 5ppb | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 化工,電子,冶金,航天,電氣 |
| 質(zhì)量數(shù)范圍 | 510amu | 最小檢測分壓 | 5E-14 mbar |
20年前，Hiden在期刊《Physics Today》今日物理學(xué)雜志發(fā)布了HPR-80腐蝕性氣體分析質(zhì)譜儀，初期主要應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè)的特氣檢測，如毒性氣體AsH3、B2H6、PH3等，強腐蝕性氣體如如HCI、HF、CIF3等，強氧化性氣體如CIF3、NF3等。
20年來，Hiden在這一細(xì)分領(lǐng)域具有強大的產(chǎn)品力，針對不同程度的腐蝕氣體分析，提供不同的解決方案。
HPR-80腐蝕性氣體分析質(zhì)譜儀非常適用于分析腐蝕性氣體，HF，HCl，HBr和鹵代烴氣體工藝產(chǎn)生的反應(yīng)產(chǎn)物。
主要特點：
1、連接件電拋光工藝處理
2、取樣壓力：1mTorr to 1000Torr
3、高靈敏度三級過濾四極桿
4、檢測限可達(dá) 5 ppb
5、QGA專業(yè)版定量分析軟件
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