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北京亞科晨旭科技有限公司
中級(jí)會(huì)員 | 第7年

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當(dāng)前位置:北京亞科晨旭科技有限公司>>表征檢測>>三維光學(xué)輪廓(白光干涉)>> OLS4500納米檢測顯微鏡

納米檢測顯微鏡

參  考  價(jià)面議
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)

產(chǎn)品型號(hào)OLS4500

品       牌其他品牌

廠商性質(zhì)生產(chǎn)商

所  在  地北京市

更新時(shí)間:2024-09-25 11:54:58瀏覽次數(shù):935次

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產(chǎn)地類別 進(jìn)口 應(yīng)用領(lǐng)域 綜合
OLS4500是一款集成了光學(xué)顯微鏡、激光顯微鏡和掃描探針掃描顯微鏡(SPM)功能于一體的新型納米檢測顯微鏡,可以實(shí)現(xiàn)從50倍到高100萬倍的超大范圍的觀察和測量。通過光學(xué)顯微鏡的多種觀察法、激光顯微鏡的高分辨率觀察,可以很容易探索到觀察點(diǎn)。即使在SPM的高倍率觀察中,也可以做到不會(huì)迷失觀察點(diǎn),進(jìn)行正確的觀察和測量。

OLS4500納米檢測顯微鏡產(chǎn)品介紹:

OLS4500是一款集成了光學(xué)顯微鏡、激光顯微鏡和掃描探針掃描顯微鏡(SPM)功能于一體的新型納米檢測顯微鏡,可以實(shí)現(xiàn)從50倍到最高100萬倍的超大范圍的觀察和測量。通過光學(xué)顯微鏡的多種觀察法、激光顯微鏡的高分辨率觀察,可以很容易探索到觀察點(diǎn)。即使在SPM的高倍率觀察中,也可以做到不會(huì)迷失觀察點(diǎn),進(jìn)行正確的觀察和測量。這是具有光學(xué)顯微鏡、激光顯微鏡和SPM各自*功能的復(fù)合型顯微鏡。

特征:

  • 一體機(jī)的機(jī)型縮短從放置樣品到獲取影像的工作時(shí)間

  • 使用光學(xué)顯微鏡的多種觀察方法,迅速找到觀察對(duì)象

  • 使用激光顯微鏡,可以觀察到光學(xué)顯微鏡中難以觀察到的樣品影像

  • 迅速發(fā)現(xiàn)觀察對(duì)象,在SPM上正確完成無縫觀察

  • 支持多種分析的SPM測量模式。3種標(biāo)準(zhǔn)模式(接觸模式、動(dòng)態(tài)模式、相位模式)和3種選擇模式(表面電位模式KFM、電流模式、磁力模式MFM)

  • 輕松檢測85°尖銳角

  • 高分辨率10nm,輕松測量微小輪廓

  • 最多可以拼接625幅影像,從而能夠獲得高分辨率的大范圍視圖數(shù)據(jù);可以在該大范圍視圖上進(jìn)行3D顯示或3D測量

  • 可用于傳統(tǒng)的線粗糙度測量,也可用于信息量較多的面粗糙度測量

    用本公司開發(fā)的微懸臂可以獲得高精細(xì)、高質(zhì)量的SPM圖像

探針顯微鏡的原理和特長:

可以觀察納米級(jí)微觀世界的探針顯微鏡(SPM:Scanning Probe Microscope)

探針顯微鏡(SPM)是通過機(jī)械式地用探針在樣品表面移動(dòng),檢測出探針與樣品之間產(chǎn)

生的力、電的相互作用,同時(shí)進(jìn)行掃描,從而得到樣品影像。探針好的曲率半徑為10 nm

左右。典型的探針顯微鏡是原子力顯微鏡(AFM),它通過檢測探針和樣品表面之間作用的引力和張力進(jìn)行掃描并獲得影像。探針顯微鏡能夠觀察納米級(jí)微觀形貌,可以捕捉到樣細(xì)的一面。

通過微懸臂掃描進(jìn)行納米觀察

OLS4500上采用了光杠桿法——通過高靈敏度檢測出最前端裝有探針的微懸臂的微小彎曲量(位移)來進(jìn)行觀測的方法。在懸臂的背面反射激光,并用壓電元件驅(qū)動(dòng)Z軸,使激光照射到光電檢測器的位置,從而正確讀取Z方向的微小位移。

多種觀察模式在影像中呈現(xiàn)表面形狀和物性

探針顯微鏡擁有多種觀察模式,可以觀察、測量樣品表面的形狀,還可以進(jìn)行物性分析。OLS4500配有以下模式。

●接觸模式:在影像中呈現(xiàn)表面形狀(較硬的表面)

控制微懸臂與樣品之間作用的排斥力為恒定的同時(shí), 使微懸臂進(jìn)行靜態(tài)掃描, 在影像中呈現(xiàn)樣品的高度。 還可以進(jìn)行彎曲測量。

●動(dòng)態(tài)模式:在影像中呈現(xiàn)表面形狀(較軟的表面、有粘性的表面)

使微懸臂在共振頻率附近振動(dòng), 并控制Z方向的距離使振幅恒定, 從而在影像中呈現(xiàn)樣品高度。 特別適用于高分子化合物之類表面柔軟的樣品及有粘性的樣品。

●相位模式:在影像中呈現(xiàn)樣品表面的物性差

在動(dòng)態(tài)模式的掃描中, 檢測出微懸臂振動(dòng)的相位延遲。 可以在影像中呈現(xiàn)樣品表面的物性差。

●電流模式*:檢測出探針和樣品之間的電流并輸出影像

對(duì)樣品施加偏置電壓,檢測出微懸臂與樣品之間的電流并輸出影像。此外,還可以進(jìn)行I/V測量。

●表面電位模式(KFM)*:在影像中呈現(xiàn)樣品表面的電位

使用導(dǎo)電性微懸臂并施加交流電壓, 檢測出微懸臂與樣品表面之間作用的靜電, 從而在影像中呈現(xiàn)樣品表面的電位。 也稱作KFM(Kelvin Force Microscope)。

● 磁力模式(MFM)*:在影像中呈現(xiàn)樣品表面的磁性信息

在相位模式中使用磁化后的微懸臂進(jìn)行掃描, 檢測出振動(dòng)的微懸臂的相位延遲, 從而在影像中呈現(xiàn)樣品表面的磁力信息。也稱作MFM(Magnetic Force Microscope)。


應(yīng)用實(shí)例:

DVD表面                                      維氏硬度計(jì)壓痕

(掃描區(qū)域 5μm×5μm 3D影像)               (掃描區(qū)域 20μm×20μm 3D影像)

可清楚觀察到DVD刻錄面的凹陷和表面狀態(tài)。      可清楚觀察到從壓痕頂角延伸的裂痕。

TiO2單結(jié)晶電路板                             IC元件圓孔

(掃描區(qū)域 5μm×5μm 3D影像)              (掃描區(qū)域 4μm×4μm 3D影像)

可觀察到約0.3 nm的TiO2          可觀察到元件表面附著的微小異物(白的原子臺(tái)階色部分)

高分子薄膜                                    鋁合金陽極氧化膜

(掃描區(qū)域 10μm×10μm 3D影像)            (掃描區(qū)域 1.8μm×1.8μm 表面可觀察到薄膜表面的劃痕(中間靠左)          電位模式(KFM模式)左:高度影像右:電位影像)

觀察到鋁合金陽極氧化膜的表面形狀(左)的同時(shí),觀察到表面電位(右)影像上沒有顯示出來的網(wǎng)眼狀構(gòu)造,可在電位影像上清楚的看到。

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