簡(jiǎn)介

QC3 高分辨率X射線衍射儀是Jordan Valley公司推出的半導(dǎo)體生產(chǎn)質(zhì)量控制設(shè)備的zui新機(jī)型，專注于化合物半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)中的生產(chǎn)監(jiān)控需求。Jordan Valley公司質(zhì)量控制型

(QC)設(shè)備已經(jīng)有三十余年的歷史，并在被廣泛應(yīng)用于Si, GaAs, InP, GaN, 及其他常見的半導(dǎo)體襯底或外延層材料的測(cè)試和生產(chǎn)控制。QC3實(shí)現(xiàn)了高分辨率X射線衍射測(cè)試技術(shù)的部分或*自動(dòng)化，并可根據(jù)客戶產(chǎn)品的具體需求，度身設(shè)計(jì)的自動(dòng)化控制程序和質(zhì)量控制參數(shù)。

QC3可依需要配置自動(dòng)化機(jī)械手臂，實(shí)現(xiàn)半導(dǎo)體晶圓片的自動(dòng)化裝載，在生產(chǎn)線上執(zhí)行測(cè)試流程的全自動(dòng)化。QC3也可以提供一次性同時(shí)放置多個(gè)小尺寸晶圓片。樣品盤上可以同時(shí)放置20片2英寸晶圓片，或者5片4英寸晶圓片?？刂栖浖梢詫⒆詣?dòng)化測(cè)試菜單程序添加給同一批次的不同晶圓片，并依次針對(duì)樣品盤上所有的晶圓片執(zhí)行測(cè)試菜單，有效減少人工操作及干預(yù)，提高測(cè)試效率。

產(chǎn)品特色及優(yōu)勢(shì)

• 專注于半導(dǎo)體材料的高分辨率X射線衍射，未因兼顧其他X射線測(cè)試技術(shù)而降低高分辨率 的要求。
• 與前期質(zhì)量控制型設(shè)備相比，提高了X射線強(qiáng)度。在相同測(cè)試速度的情況下，可提高測(cè)試精度。在相同測(cè)試精度的條件下，將提高測(cè)試速度。
• 降低了設(shè)備及附件的購(gòu)置和維護(hù)成本。
• 更低的運(yùn)行成本。
• XRGProtect™可以有效延長(zhǎng)X射線光管的使用壽命。
• 環(huán)保的綠色工作模式，待機(jī)時(shí)有效降低能耗。
• 可依據(jù)客戶需求，選擇性地配置自動(dòng)化裝卸晶圓片用機(jī)械手臂，具備多片批次式同時(shí)測(cè)試的功能，提高生產(chǎn)測(cè)試效率。
• 操作簡(jiǎn)便，無需專業(yè)人才操作。
• *自動(dòng)化準(zhǔn)直、測(cè)量晶圓片，數(shù)據(jù)分析自動(dòng)化
• 工業(yè)界領(lǐng)xian的RADS衍射數(shù)據(jù)自動(dòng)化擬合軟件已經(jīng)被客戶廣泛使用并獲得肯定。
• 測(cè)試和分析的數(shù)據(jù)結(jié)果可以進(jìn)行自動(dòng)化遠(yuǎn)程報(bào)告。
• 可依客戶需要的格式自動(dòng)創(chuàng)建測(cè)試數(shù)據(jù)報(bào)告。

高強(qiáng)度的X射線衍射儀

與過去相類似的衍射儀相比，QC3衍射儀非常顯著地提高了X射線的強(qiáng)度。QC3衍射儀對(duì)束線強(qiáng)度的優(yōu)化設(shè)計(jì)，使其比市場(chǎng)同類型產(chǎn)品提供了HRXRD測(cè)試技術(shù)所需的更多優(yōu)勢(shì)。

入射束線

QC3衍射儀的入射光學(xué)系統(tǒng)采用統(tǒng)一的標(biāo)準(zhǔn)化配置，保證高強(qiáng)度信號(hào)的獲得，且無需額外的費(fèi)用購(gòu)置其他的選配件。

入射光學(xué)系統(tǒng)的配置將依所測(cè)試材料的結(jié)構(gòu)特征做如下優(yōu)化：

• 所有的QC3衍射儀均配置多層膜高反鏡，以提高入射強(qiáng)度。
• 對(duì)于具有明顯的馬賽克結(jié)構(gòu)的材料，所配置的參考晶體提供

25”的X射線角發(fā)散度，入射強(qiáng)度更高。

• 對(duì)于傳統(tǒng)的高結(jié)晶完整性的III-V材料，所配置的參考晶體提供<10”的X射線角發(fā)散度，提高了X射線入射束的分辨率。
• 入射光學(xué)系統(tǒng)的準(zhǔn)直簡(jiǎn)便、快捷、安全。準(zhǔn)直時(shí)衍射儀機(jī)箱空間內(nèi)沒有X射線。

X射線探測(cè)臺(tái)

探測(cè)臺(tái)包含了多項(xiàng)特色的X射線衍射用光學(xué)元件，并作為標(biāo)準(zhǔn)化配置，以提高QC3 的性能。

• EDRc(動(dòng)態(tài)響應(yīng)范圍增強(qiáng))型X射線探測(cè)器提供

>5×107的動(dòng)態(tài)響應(yīng)范圍。

• 提供自動(dòng)化衰減片?？刂栖浖詣?dòng)控制衰減片的操作，從而使QC3衍射儀的動(dòng)態(tài)響應(yīng)范圍超過5×108。
• 提供三軸分析晶體。三軸晶HRXRD是GaN基材料測(cè)試獲得足夠分辨率所必需的光學(xué)配置。
• 提供馬達(dá)驅(qū)動(dòng)的探測(cè)臺(tái)接收狹縫，可由自動(dòng)化程序?qū)崟r(shí)調(diào)控狹縫大小，無需手動(dòng)調(diào)節(jié)。
• 所有探測(cè)臺(tái)光學(xué)元件均通過控制計(jì)算機(jī)自動(dòng)準(zhǔn)直。