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| 應(yīng)用領(lǐng)域 | 綜合 |
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高阻尼空氣隔振系統(tǒng)MaxDamp
MaxDamp®將Gimbal Piston空氣隔振器與內(nèi)部防篡改粘性阻尼相結(jié)合，為此類應(yīng)用提供了額外的阻尼。MaxDamp雖然不能提供我們UltraDamp系列的主動、最高阻尼，但當需要較高阻尼時，它卻是一個好的選擇，其減振性能只略有減弱。MaxDamp適用于需要快速穩(wěn)定有效載荷的高力、高速XY電動工作臺的有效載荷。適用于半導體檢測、光刻機以及其他具有相對較高力的電動工作臺的儀器。
優(yōu)點：
結(jié)合了自調(diào)平Gimbal Piston™空氣隔振器的優(yōu)勢，并具有高阻尼作用
非常適合具有機器人運動或電動工作臺的有效載荷，可提供所需的隔振并主動穩(wěn)定有效負載引起的運動
更快的工具吞吐量和更高的產(chǎn)量
從3 Hz開始的水平和垂直隔振
共振的最小放大（8-12 dB）
模塊化設(shè)計?？缮壍紼lectro-Damp®主動消振
特點：
更快的有效負載穩(wěn)定時間。
LCD和半導體制造和檢測工具的生產(chǎn)率更快、產(chǎn)量更高。
在保持高隔振性能的同時，隔振表面有“更硬"的手感。
由氣流、噪音以及所產(chǎn)生的“機上"力引起的振動較小。
比較GimbalPiston®、MaxDamp®和UltraDamp™之間的阻尼水平
高阻尼空氣隔振系統(tǒng)MaxDamp
| 承重能力 | Gimbal Piston | MaxDamp | UltraDamp |
| 160千克（350磅） | 62GP-0160 | 62MD-0160 | 62UD-0160 |
| 450千克（1000磅） | 62GP-0450 | 62MD-0450 | 62UD-0450 |
| 1150千克（2500磅） | 62GP-1150 | 62MD-1150 | 62UD-1150 |
| 2600千克（5700磅） | 62GP-2600 | 62MD-2600 | 62UD-2600 |
| 輸入 | 空氣輸入使用 | 備件貨號 |
| 標準閥門 | 0.042升/分鐘（0.0015立方英尺/分） | SV62 |
| 精密閥門 | 0.42升/分鐘（0.015立方英尺/分） | PV62 |
| PEPS II | 57升/分鐘（2立方英尺/分鐘） | PEPS62 |
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