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目錄:北京精科智創(chuàng)科技發(fā)展有限公司>>半導(dǎo)體材料測(cè)試儀>>探針臺(tái)>> 非標(biāo)探針臺(tái)/微型/光電流測(cè)試顯微鏡

非標(biāo)探針臺(tái)/微型/光電流測(cè)試顯微鏡
  • 非標(biāo)探針臺(tái)/微型/光電流測(cè)試顯微鏡
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具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
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  • 所在地 北京市
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更新時(shí)間:2024-11-06 14:29:47瀏覽次數(shù):553評(píng)價(jià)

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非標(biāo)探針臺(tái)/微型探針臺(tái)/倒裝手動(dòng)測(cè)試夾具/光電流測(cè)試顯微鏡/TEC制冷卡盤(pán)/磁場(chǎng)探針臺(tái)(無(wú)磁設(shè)計(jì))/110g以上高頻測(cè)試探針臺(tái)/自動(dòng)測(cè)試系統(tǒng)/可升降平臺(tái)/高精度納米探針座/毫米級(jí)手持式探針夾具/毫米級(jí)手持式探針夾具/FA失效分析探針臺(tái)

非標(biāo)探針臺(tái)

I (1)微型探針臺(tái)

微型探針臺(tái).jpg

•整機(jī)外形尺寸:約380mmL*300mmW*320mm H,重量:約10 kg;

•雙探針座平臺(tái)鍍鏢設(shè)計(jì),提高了針座平臺(tái)和針座之間的吸附力;

• ChJKZC-UCk XY微分頭設(shè)計(jì),行程25mm*25mm,精度2um;

• ChJKZC-UCk大小2英寸,中心吸附孔和多圈吸附環(huán)固定樣品,均獨(dú)立控制;

•卡盤(pán)電學(xué)獨(dú)立懸空,帶4mm香蕉頭插口,可以作為背電極使用;

-臺(tái)體底板帶高性能防震海綿,可一定程度減小外界震動(dòng)對(duì)測(cè)試的干擾;

•整機(jī)人體工程學(xué)設(shè)計(jì),操作簡(jiǎn)單,使用便捷。

| (2)倒裝手動(dòng)測(cè)試夾具


倒裝手動(dòng)測(cè)試夾具.jpg

-可給樣品加載DC或者RF信號(hào);

樣品可在0~180度任意角度內(nèi)進(jìn)行旋轉(zhuǎn)并固定;

-具備微調(diào)功能,精度0.1度;

•玻璃樣品載臺(tái),高透光性;

•可無(wú)磁化設(shè)計(jì),在光學(xué),電磁等環(huán)境中運(yùn)用較為廣。

| (3)光電流測(cè)試顯微鏡

光電流測(cè)試顯微鏡.jpg

-可在原有光路基礎(chǔ)上可以導(dǎo)入另一路光源,用于輻照樣品以測(cè)試樣品在特定波長(zhǎng)及能量下電學(xué)性能;

-顯微鏡設(shè)計(jì)為雙光路或3光路,其中一路為導(dǎo)入光通路,另一到兩路為成像光路導(dǎo)入光為平行的激光或其它線性光源 ,波長(zhǎng)范圍200nm~20000nm,中間可加入多個(gè)波片過(guò)濾,起偏及偏振角度無(wú)級(jí)360度調(diào)節(jié)。光斑輻照直徑有650nm紅光 指示。所有模塊均可拉出設(shè)計(jì),對(duì)導(dǎo)入光性質(zhì)無(wú)影響;

-導(dǎo)入光光路可選擇光時(shí)間開(kāi)關(guān),精確控制導(dǎo)入光的輻照時(shí)間,精度1ms,范圍2ms~oo,在控制界面上可對(duì)各種參數(shù)進(jìn) 行詳細(xì)設(shè)置,成像光路為同軸照明金相成像,其中一路為1倍成像,可選擇第2路成像,為物鏡的0.25-10倍率,通常在高 低溫測(cè)試系統(tǒng)里會(huì)用到,同一個(gè)物鏡不切換,得到兩個(gè)不同視野的成像。


(4)TEC制冷卡盤(pán)

TEC制冷卡盤(pán).jpg

•釆用TEC制冷,無(wú)需液氮,使用方便;

可給樣品提供不同溫度環(huán)境;

-樣品臺(tái)大小可選,防干擾設(shè)計(jì),具備良好的接地性能;

溫度范圍:負(fù)45°C~150°C,溫度分辨率:0.1°C,

溫度穩(wěn)定性:土 0.3°C;

樣品臺(tái)微調(diào)升降,行程0-10mm,精度10um.

 (5)磁場(chǎng)探針臺(tái)(無(wú)磁設(shè)計(jì))

磁場(chǎng)探針臺(tái)(無(wú)磁設(shè)計(jì)).jpg

•在探針臺(tái)的基礎(chǔ)上,可加載三維磁場(chǎng),多維磁場(chǎng),磁場(chǎng)強(qiáng)度,精度和間隙均可調(diào)整;

-高剛性結(jié)構(gòu),所有零配件均采用無(wú)磁化材料;

-可加載高低溫,可同時(shí)進(jìn)行DCRF測(cè)試;

可以旋轉(zhuǎn),科客制化。


|⑹110g以上高頻測(cè)試探針臺(tái)

110g以上高頻測(cè)試探針臺(tái).jpg

 

-可配合市場(chǎng)主流擴(kuò)頻模塊進(jìn)行超高頻測(cè)試;

大行程高精度探針座,X-Y-Z-Theta四軸控制;

-顯微鏡可以在2英寸*2英寸*2英寸范圍內(nèi)移動(dòng),擴(kuò)大了顯微鏡視場(chǎng);

-兼容直流與高頻信號(hào);

-可以定制,可升級(jí)性強(qiáng);

-最大可以測(cè)試12英寸樣品,探針臺(tái)chJKZC-UCk具備升降功能,便于樣品和 探針的快速分離。


(7)自動(dòng)測(cè)試系統(tǒng)

自動(dòng)測(cè)試系統(tǒng).jpg

-自動(dòng)探針測(cè)試系統(tǒng),可以與半?yún)ⅲW(wǎng)分聯(lián)動(dòng);

-電動(dòng)二維平臺(tái),可手動(dòng)和電動(dòng)操作;

• ChJKZC-UCk XY軸運(yùn)動(dòng)行程100*100mm,復(fù)定位精度<±lum;

• X-Y軸驅(qū)動(dòng):電機(jī)+絲桿+光柵尺;

-探針/光纖探針XYZ軸電動(dòng)模塊30*30*30mm,復(fù)定位精度W ±lum;

-X-Y-Z軸驅(qū)動(dòng):電機(jī)+絲桿+光柵尺。

| (8)可升降平臺(tái)

可升降平臺(tái).jpg

產(chǎn)品型號(hào):T-station

產(chǎn)品參數(shù):

-尺寸和重量定制;

-單個(gè)探針座平臺(tái)最多可同時(shí)放置3個(gè)探針座;

-探針座平臺(tái)表面鍍鏢,增大與探針座之間的吸附力;

-隱匿螺紋固定于標(biāo)準(zhǔn)蜂窩板,美觀,并且方便拆卸;

-平臺(tái)可升降,升降高度和精度可定制;

-可配合光電流顯微鏡使用。

| (9)高精度納米探針座

高精度納米探針座.jpg

產(chǎn)品型號(hào):JKZC-DCH-20nm

產(chǎn)品參數(shù):

-X軸分辨率20nm,行程30um (旋鈕控制盒);

-YZ軸分辨率10um,行程+-6.5mm;

-釆用高精度壓電陶瓷設(shè)計(jì),可以固定步距撥動(dòng)樣品或者納米線。


(10)毫米級(jí)手持式探針夾具

產(chǎn)品型號(hào):JKZC-DCH

產(chǎn)品參數(shù)

•整體尺寸:20*20*180mm;

-萬(wàn)向調(diào)節(jié)旋鈕,方向可調(diào),松緊可調(diào);

磁吸底座,直徑20mm;

•兼容彈簧針和晶圓針;

-Cable接頭可定制三軸,同軸或者其它。

(11) FA失效分析探針臺(tái)

產(chǎn)品型號(hào):FA

FA失效分析探針臺(tái).jpg

產(chǎn)品參數(shù)

•探針臺(tái)系統(tǒng)可以選用4~12英寸JKZC-DN系列探針臺(tái)。

•激光系統(tǒng)可以選用美國(guó)ESI三波段激光器或者法國(guó) quantel激光器

•美國(guó)ESI (NEWWAVE)激光器參數(shù)

鐳射波長(zhǎng)1064532nm355nm

輸出功率2.2mJ/pulse

擊打頻率lHz~50Hz

可加工的材質(zhì):Copper/Gold/Poly Silicon/Alu minum/Silicon Dixoide

最小加工尺寸1微米(使用100X物鏡)

         最大加工尺寸40微米(使用50X物鏡)


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