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FE-5000型鐵電薄膜測試儀

   FE-5000W型電致應(yīng)變鐵電測試儀是一款高量程款的鐵電性能材料測試裝置，這款設(shè)備可以適用于鐵電薄膜、鐵電體材料（既可塊體材料）的電性能測量，可測量鐵電薄膜電滯回線、可測出具有非對稱電滯回線鐵電薄膜值。可以進(jìn)行電致應(yīng)變測試，可以蝴蝶曲線功能，設(shè)備還可以擴(kuò)展高溫電阻，高溫介電，電容-電壓曲線，TSC/TSDC等功能。本儀器是從事壓電材料及壓電元件生產(chǎn)、應(yīng)用與研究部門的重要設(shè)備之一，已經(jīng)在各大高校和科研院所廣泛使用。

二、主要技術(shù)指標(biāo)：

1、輸出信號(hào)電壓：：±5000V（可擴(kuò)展至10 kV）,可擴(kuò)展電致應(yīng)蝴蝶曲線功能

2、溫度；室溫-200℃，控溫精度：±1℃

3、控制施加頻率0.01到250KHz（陶瓷、單晶，薄膜）PC端軟件控制自定義設(shè)置；

4、控制輸出電流0到±50mA連續(xù)可調(diào)，PC端軟件控制自定義設(shè)置。

5、動(dòng)態(tài)電滯回線測試頻率范圍 0.01Hz-5kHz

7、最小脈寬保持時(shí)間為20us;最小上升沿時(shí)間為10us;

8、疲勞測試頻率500kHz（振幅10 Vpp，負(fù)載電容1 nF）；使用高壓放大器后疲勞頻率最高5kHz;

9、測試速度：測量時(shí)間《5秒/樣品•溫度點(diǎn)   

10、樣品規(guī)格：塊體材料尺寸：直徑2-100mm，厚度0.1-10mm

11、主要功能： 動(dòng)態(tài)電滯回線DHM，靜態(tài)電滯回線SHM，I-V特性，脈沖PUND，疲勞Fatigue，電擊穿強(qiáng)度BDM，漏電流LM，電流-偏壓，保持力RM，

10. 電荷解析度不小于10 mC;

漏電流測量范圍:1pA~ 20 mA，分辨率不低于0.1pA;

12、控制方式：計(jì)算機(jī)實(shí)時(shí)控制、實(shí)時(shí)顯示、實(shí)時(shí)數(shù)據(jù)計(jì)算、分析與存儲(chǔ)

13、軟件采集：自動(dòng)采集軟件，分析可以兼容其他相關(guān)主流軟件。

14、測試精度：±0.05%

15、內(nèi)置電壓：±20V

鐵電參數(shù)測試主要性能指標(biāo)：

a. 外接5 kV高壓放大器；

b. 動(dòng)態(tài)電滯回線測試頻率范圍0.01 Hz ～ 1 kHz；

c. 最大電荷解析度：10 mC；

d. 疲勞測試頻率300 kHz（振幅10 Vpp，負(fù)載電容1 nF）；

e. 漏電流測量范圍 1 pA ～ 20 mA，分辨率0.1 pA；

f. 配有高壓擊穿保護(hù)模塊。

本測試系統(tǒng)由主控器、高壓放大器、變溫綜合測試平臺(tái)（配鐵電測試盒）或高低溫探針臺(tái)（配高壓探針）、計(jì)算機(jī)及系統(tǒng)軟件部分組成。主控器集成了可編程波形發(fā)生器、內(nèi)置驅(qū)動(dòng)電壓、電荷積分器、可編程放大器、模數(shù)轉(zhuǎn)換器、通訊總線等功能，主控器提供擴(kuò)展外置高壓放大器接口，可擴(kuò)展±5 kV或±10 kV的高壓放大器。系統(tǒng)軟件包括可視化數(shù)據(jù)采集和管理功能，測試時(shí)，無需改變測試樣品的連接，即可實(shí)現(xiàn)滯回，脈沖，漏電，IV等性能測試。

本鐵電參數(shù)測試儀/PUND測試采用改進(jìn)的Sawyer- Tower測量方法，與傳統(tǒng)的Sawyer- Tower模式相比，此電路取消了外接電容，可減小寄生元件的影響。此電路的測試精度僅取決于積分器積分電容的精度，減少了對測試的影響環(huán)節(jié)，容易定標(biāo)和校準(zhǔn)，并且能實(shí)現(xiàn)較高的測量準(zhǔn)確度。

該系統(tǒng)測試功能：

動(dòng)態(tài)電滯回線DHM

I-V特性

脈沖PUND

疲勞Fatigue

漏電流LM

電流-偏壓。