詳細(xì)介紹
二手電鏡,二手場(chǎng)發(fā)射電鏡一、主要部件:
S-4300主機(jī)(包括真空系統(tǒng)、電子光學(xué)系統(tǒng)、檢測(cè)器)、X射線能譜儀,E-1030噴金噴碳裝置等。
二、主要性能指標(biāo):
二次電子分辨率:1.0 nm(15 kV);2.0 nm(1 kV);背散射電子分辨率:3.0 nm (15 kV);電子槍:冷場(chǎng)發(fā)射電子源,加速電壓:0.5 ~ 30 kV(0.1 kV/步,可變);放大倍率:×30 ~ × 800,000;X射線能譜儀的元素分析范圍為Be4~U92;噴金噴碳裝置可以通特定的氣氛保護(hù)樣品。
三、設(shè)備特點(diǎn)及應(yīng)用范圍:
S-4800型高分辨場(chǎng)發(fā)射掃描電鏡(簡(jiǎn)稱S-4800)為日本日立公司于2002年推出的產(chǎn)品。該電鏡的電子發(fā)射源為冷場(chǎng),物鏡為半浸沒式。在高加速電壓(15 kV)下,S-4800的二次電子圖像分辨率為1 nm,這是目前半浸沒式冷場(chǎng)發(fā)射掃描電鏡所能達(dá)到的。該電鏡在低加速電壓(1 kV)下的二次電子圖像分辨率為2 nm,這有利于觀察絕緣或?qū)щ娦圆畹臉悠?。S-4800的主要附件為X射線能譜儀。利用S-4800和X射線能譜儀可以在觀察樣品表面微觀形貌的同時(shí)進(jìn)行微區(qū)成分定性和定量以及元素分布分析。此次所購(gòu)X射線能譜儀的元素分析范圍為Be4~U92,從而可以分析輕元素。由于S-4800不能在低真空條件下工作,因此不適合直接觀察含水和含油樣品。
二手電鏡,二手場(chǎng)發(fā)射電鏡采用了新型 ExB 式探測(cè)器和電子束減速功能, 提高了圖象質(zhì)量(15 kV 下分辨率 1 nm) , 尤其是將低加速電壓下的圖象質(zhì)量提高到了新的水平(1 kV 下 1. 4 nm) ; 新型的透鏡系統(tǒng), 提高了高分辨模式、 高速流模式、 大工作距離模式、 磁性樣品模式等多種工作模式, 使其能夠精確和清楚地捕捉最短暫的瞬間。 目前掃描電子顯微鏡的最主要組合分析功能有: X 射線顯微分析系統(tǒng)(即能譜儀, EDS), 主要用于元素的定性和定量分析, 并可分析樣品微區(qū)的化學(xué)成分等信息; 電子背散射系統(tǒng) (即結(jié)晶學(xué)分析系統(tǒng)), 主要用于晶體和礦物的研究。