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奧林巴斯半導(dǎo)體檢測(cè)顯微鏡 MX61L/MX61系統(tǒng)(無(wú)限遠(yuǎn)校正光學(xué)系統(tǒng))
12V100W鹵素?zé)襞?預(yù)定心型) 明視場(chǎng)/暗視場(chǎng)反射鏡可外加1個(gè)分光鏡組(選配) ，轉(zhuǎn)換使用內(nèi)置電動(dòng)孔徑光闌(每個(gè)物鏡可預(yù)設(shè)，物鏡轉(zhuǎn)換時(shí)自動(dòng)轉(zhuǎn)換，暗視場(chǎng)觀測(cè)時(shí)自動(dòng)打開(kāi))
超寬場(chǎng)正像傾斜式三目鏡筒(F.N. 26.5) ：MX-SWETTR型或U-SWETTR型(MX-SWETTR是MX61L的標(biāo)準(zhǔn)配置)
奧林巴斯MX61顯微鏡，①反射光明視場(chǎng)法；②反射光暗視場(chǎng)法；③反射光諾曼爾斯基微分干涉襯比法；④反射光簡(jiǎn)單偏振法；⑤反射光熒光法；⑥反射光照明法(IR)⑦透射光明視場(chǎng)法；⑧透射光簡(jiǎn)單偏振法③/④/⑤需要專門的分光鏡組。⑦/⑧需要與透射光照明部件配合使用。
奧林巴斯半導(dǎo)體檢測(cè)顯微鏡 MX61L/MX61為用戶提供高效率。
MX61適用于zui大200mm的樣本，而MX61L則可適用于zui大300mm的樣本。
1、大型載物臺(tái)搭載：可用于400*300mm液晶基板，300mm晶圓全面檢查(MX61L)。
2、采用高NA的透射光聚光鏡，圖象更銳利。
3、多種觀察方式，多種照明方式，多種附件以滿足不同應(yīng)用要求。
4、透射和反射照明可同時(shí)使用，極大提高液晶基板觀察效果。
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