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晶圓搬運(yùn)機(jī)loader含顯微鏡

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具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 型號(hào)
  • 品牌 OLYMPUS/奧林巴斯
  • 廠商性質(zhì) 經(jīng)銷商
  • 所在地 蘇州市
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更新時(shí)間:2023-12-01 14:30:06瀏覽次數(shù):1361

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

外形尺寸 120CM*120CM*120CM 驗(yàn)色 灰白
額定電壓 220V 是否國產(chǎn)
OLYMPUS AL120晶圓搬送機(jī),本產(chǎn)品是操作方便,非常適合于前道到后道工程的晶圓檢查的晶圓搬送機(jī)。AL120晶圓搬送機(jī)可相匹配200mm下列晶圓尺寸的硅、化合物晶圓,能夠高效率搬送薄片晶圓等,AL120搭載奧林巴斯MX專業(yè)晶圓檢查顯微鏡系列,通過各種觀測(cè)方法,包括:明視場(chǎng)、暗視場(chǎng)、微分干涉(DIC)、近IR(近紅外線)和DUV(深紫外線),實(shí)現(xiàn)了很好的圖像分辨率和清晰度。

詳細(xì)介紹



產(chǎn)品簡(jiǎn)介:
•AL120晶圓搬送機(jī)可對(duì)應(yīng)200mm以下晶圓尺寸的硅、化合物晶圓,可以安全高效搬送薄片晶圓
•非常適合于前道到后道工程的晶圓檢查
•適應(yīng)范圍廣、搭配靈活
•高度實(shí)用性
•進(jìn)一步優(yōu)化的宏觀檢查
•操作便捷
•高度可靠性
•優(yōu)先考慮晶圓和操作者的安全
•堅(jiān)固、耐用的顯微鏡底座
•人機(jī)工程學(xué)設(shè)計(jì)的載物臺(tái)
•電動(dòng)物鏡轉(zhuǎn)換器和孔徑光闌相互鎖定,可以優(yōu)化各物鏡的照明和對(duì)比度
•如果特別訂制,AL120還可以應(yīng)用到其他型號(hào)的顯微鏡上


產(chǎn)品特點(diǎn):
•對(duì)應(yīng)多種尺寸組合
•有200 mm專用型、200 mm/150 mm兼用型和150 mm型(對(duì)應(yīng)小于150 mm的晶圓)的3種型號(hào)
•對(duì)應(yīng)薄片制造廠家的需求,AL120-LMB-90搭載的新型搬送手臂的設(shè)計(jì)可以搬運(yùn)整盒25枚90 μm的極薄晶圓
•宏觀檢查手臂可以360゜旋轉(zhuǎn),更為容易發(fā)現(xiàn)傷痕和微塵
•利用360゜旋轉(zhuǎn)功能,*可以目視檢查整個(gè)晶圓(包括邊緣)
•在表面宏觀檢查中,使用操縱桿可隨意將晶圓*大傾斜30゜進(jìn)行觀察
•為了滿足各種常規(guī)檢查的要求,AL120可以登記多達(dá)10個(gè)檢查程序
•使用這一功能可以記錄特定的卡盒、晶圓和傳輸速度
•快速菜單選擇按鈕則可以讓操作員立刻切換不同程序
•晶圓搬送機(jī)的菜單設(shè)置和設(shè)置參數(shù)都會(huì)在新型的LCD顯示器上顯示
•使用RECALL按鈕可以顯示檢查時(shí)登記的有缺陷的對(duì)應(yīng)SLOT,便于操作者再次確認(rèn)
•AL120使用非接觸光學(xué)定位、查找和對(duì)齊缺口/平面,可以減少晶圓和設(shè)備之間的接觸,提高晶圓的清潔度
•為了能夠安全的安裝晶圓,采用了在裝置正面放置片盒的設(shè)計(jì)
•在安全性和人機(jī)工學(xué)上通過了SEMI S2/S8檢測(cè),同時(shí),在環(huán)境保護(hù)方面遵守了RoHS指令
•AL120搭載奧林巴斯MX晶圓檢查顯微鏡系列,通過各種觀測(cè)方法
•實(shí)現(xiàn)了*的圖像分辨率和清晰度
•手動(dòng)快速釋放真空載物臺(tái)可以提高操作員的舒適度和工作效率,標(biāo)準(zhǔn)功能為XY軸控制和晶圓旋轉(zhuǎn)功能。
•可通過操縱桿或預(yù)編程的程序控制電動(dòng)載物臺(tái),進(jìn)一步將檢查過程自動(dòng)化
•只需一鍵便可驅(qū)動(dòng)載物臺(tái)返回或離開load/unload位置及原點(diǎn)位置


高度可靠性

 

優(yōu)先考慮晶圓和操作者的安全

  • 為了能夠安全的安裝晶圓,采用了在裝置正面放置片盒的設(shè)計(jì)。

  • 在安全性和人機(jī)工學(xué)上通過了SEMI S2/S8檢測(cè),同時(shí),在環(huán)境保護(hù)方面遵守了RoHS指令。

 

堅(jiān)固、耐用的顯微鏡底座

     AL120搭載奧林巴斯MX專業(yè)晶圓檢查顯微鏡系列,通過各種觀測(cè)方法,包括:明視場(chǎng)、暗視場(chǎng)、微分干涉(DIC)、近IR(近紅外線)和DUV(深紫外線),實(shí)現(xiàn)了圖像分辨率和清晰度。電動(dòng)物鏡轉(zhuǎn)換器和孔徑光闌相互鎖定,可以優(yōu)化各物鏡的照明和對(duì)比度。如果特別訂制,AL120還可以應(yīng)用到其他型號(hào)的顯微鏡上。

 

人機(jī)工程學(xué)設(shè)計(jì)的載物臺(tái)

  • 手動(dòng)快速釋放真空載物臺(tái)可以提高操作員的舒適度和工作效率,標(biāo)準(zhǔn)功能為XY軸控制和晶圓旋轉(zhuǎn)功能。

  • 可通過操縱桿或預(yù)編程的程序控制電動(dòng)載物臺(tái),進(jìn)一步將檢查過程自動(dòng)化。只需一鍵便可驅(qū)動(dòng)載物臺(tái)返回或離開load/unload位置及原點(diǎn)位置。



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