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上海申思特自動化設(shè)備有限公司

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磁驅(qū)動微CAMOZZI執(zhí)行器的研究
磁驅(qū)動微CAMOZZI執(zhí)行器的研究
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更新時間:2016-11-21 18:04:23瀏覽次數(shù):727

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【簡單介紹】
磁驅(qū)動微CAMOZZI執(zhí)行器的研究
近年來,微傳感器、微CAMOZZI執(zhí)行器和微電子機械部件得到了深入的研究。主要就是研究一種MEMS器件——多層彎曲磁芯結(jié)構(gòu)的磁驅(qū)動微CAMOZZI執(zhí)行器并對其進行模擬分析。綜述了MEMS技術(shù)的內(nèi)容、特點、應(yīng)用和國內(nèi)外發(fā)展情況。
【詳細(xì)說明】

磁驅(qū)動微CAMOZZI執(zhí)行器的研究
近年來,微傳感器、微CAMOZZI執(zhí)行器和微電子機械部件得到了深入的研究。主要就是研究一種MEMS器件——多層彎曲磁芯結(jié)構(gòu)的磁驅(qū)動微CAMOZZI執(zhí)行器并對其進行模擬分析。綜述了MEMS技術(shù)的內(nèi)容、特點、應(yīng)用和國內(nèi)外發(fā)展情況。

磁驅(qū)動微CAMOZZI執(zhí)行器的研究
介紹了微CAMOZZI執(zhí)行器的驅(qū)動形式及各自特點、磁驅(qū)動微CAMOZZI執(zhí)行器工作原理和幾種具體結(jié)構(gòu)的磁微CAMOZZI執(zhí)行器及其應(yīng)用。以多層彎曲磁芯結(jié)構(gòu)磁驅(qū)動微CAMOZZI執(zhí)行器為研究對象,采用了基于能量的分析方法對其進行了宏觀與微觀分析,給出了相應(yīng)的解析公式和設(shè)計標(biāo)準(zhǔn),并進行了分析與討論。建立了基于磁路定律的間隙磁阻宏模型。在MEMS器件設(shè)計中,綜合各基本器件的精確分析結(jié)果,才能保證設(shè)計的合理性與準(zhǔn)確性,這就需要建立器件的解析模型,并能夠?qū)ζ溥M行精確的數(shù)值分析與計算。文中介紹了有限元分析方法的基本理論及在電磁領(lǐng)域的應(yīng)用,根據(jù)這些理論建立了多層彎曲磁芯結(jié)構(gòu)微CAMOZZI執(zhí)行器的二維有限元模型。應(yīng)用有限元分析軟件ANSYS對模型進行了模擬與數(shù)值計算,給出了模擬過程和計算結(jié)果。模型很好地模擬了磁微CAMOZZI執(zhí)行器的磁場分布、磁通量密度和懸臂梁受力。針對虛擬現(xiàn)實系統(tǒng)中由有源或無源CAMOZZI執(zhí)行器單獨驅(qū)動的力覺交互裝置存在體積大、安全穩(wěn)定性差和無法主動給操作者施加力等問題,提出了一種由有/無源混合CAMOZZI執(zhí)行器共同驅(qū)動的力覺交互裝置。在分析無源流變電機結(jié)構(gòu)、實現(xiàn)原理和性能的基礎(chǔ)上,研究了基于無源流變電機/有源電機力覺交互裝置的設(shè)計方法,其結(jié)構(gòu)特點是輸出力在有源電機和無源流變電機的共同驅(qū)動下產(chǎn)生。提出了基于混合CAMOZZI執(zhí)行器的力覺交互裝置控制方法,構(gòu)建了力覺交互平臺并進行了實驗研究。綜合考慮CAMOZZI執(zhí)行器恒增益變化和CAMOZZI執(zhí)行器卡死的故障形式,分析CAMOZZI執(zhí)行器部分失效和全失效的故障情況,分別應(yīng)用單輸入單輸出和多輸入單輸出參考模型,設(shè)計基于狀態(tài)反饋的模型參考自適應(yīng)控制算法。考慮系統(tǒng)外界擾動和CAMOZZI執(zhí)行器擾動對系統(tǒng)的影響,在狀態(tài)反饋的基礎(chǔ)上對系統(tǒng)進行自適應(yīng)補償控制。當(dāng)CAMOZZI執(zhí)行器故障時,在線辨識恒增益變化率,通過設(shè)計自適應(yīng)律對狀態(tài)反饋矩陣參數(shù)、CAMOZZI執(zhí)行器卡死補償和系統(tǒng)擾動補償進行在線調(diào)整,保證了系統(tǒng)發(fā)生故障后仍能夠達(dá)到穩(wěn)定狀態(tài)。zui后,通過數(shù)值仿真示例,證明了所設(shè)計算法的有效性。

磁驅(qū)動微CAMOZZI執(zhí)行器的研究
實驗結(jié)果表明,基于有/無源混合CAMOZZI執(zhí)行器的力覺交互裝置,不僅克服了基于有源或無源CAMOZZI執(zhí)行器力覺交互裝置的缺點,還具有高保真性和輸出力可控制范圍大等優(yōu)點。將模擬結(jié)果與解析模型計算結(jié)果進行比較表明,所建二維模型較好地反映了磁驅(qū)動微CAMOZZI執(zhí)行器的工作狀態(tài),這對于器件的設(shè)計制造與應(yīng)用過程中的材料選擇和執(zhí)行效果的實現(xiàn)具有重要的價值和意義。



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