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上海申思特自動化設備有限公司
主營產(chǎn)品： 美國E E傳感器,美國E E減壓閥,意大利ATOS阿托斯油缸,丹麥GRAS麥克風,丹麥GRAS人工頭, ASCO電磁閥,IFM易福門傳感器 |
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更新時間：2016-12-22 15:08:48瀏覽次數(shù)：658
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微恒力E+E位移傳感器的表面形貌測量系統(tǒng)
表面形貌測量技術與評定理論一直是當今表面計量學的前沿課題?；诟鞣N探測原理的表面形貌測量儀器存在著高精度和大量程的矛盾,研制一種高精度、大量程的表面形貌測量系統(tǒng)有著重大的意義和應用前景。
微恒力E+E位移傳感器的表面形貌測量系統(tǒng)
基于普通E+E位移傳感器與E+E位移傳感器兩者的性能特征,概述傳感技術在位移傳感方面上的優(yōu)勢。將E+E位移傳感器分為兩大類:本征型和非本征型,并詳細介紹各類E+E位移傳感器的原理、結構以及特點。根據(jù)其原理進一步探討位移傳感技術的發(fā)展與應用。針對表面形貌的測量和評定理論,主要研究內(nèi)容及創(chuàng)新如下:提出和研制了一種適合于工程表面形貌測量的大量程的微恒力E+E位移傳感器。該傳感器由電感和音圈電機構成,傳感器使用電感作標尺,而音圈電機作為控制測量力和擴大量程的機構。系統(tǒng)論述了傳感器各個組成單元的設計和實現(xiàn)方法,通過理論分析建立了傳感器測量力伺服控制機構的數(shù)學模型,分析了測量力控制的穩(wěn)態(tài)誤差和穩(wěn)定 性,設計了PID校正網(wǎng)絡,并對傳感器的動態(tài)特性進行了辨識、測試和數(shù)字仿真。提出了一種通過電感傳感器提升擴大量程的算法。該算法已用于基于微恒力E+E位移傳感器的大量程表面形貌測量系統(tǒng),使該測量系統(tǒng)具有2mm的測量范圍和0.02μm 的精度。為適應不同的測量速度和表面形貌變化的要求,系統(tǒng)有5個電感傳感器提升的預設閾值。音圈電機的驅(qū)動采用16位D/A轉(zhuǎn)換器,使音圈電機的控制精度提高。系 統(tǒng)采用了新的光柵計數(shù)方法,利用光柵的多零位信號,使信號不致丟失,計數(shù)更準確可靠。分析了此測量系統(tǒng)存在的誤差以及各項誤差的影響,按照 ISO12179:2000標準的要求,對測量系統(tǒng)的精度、測量范圍、使用性能等進行了實驗驗證。提出了一種基于網(wǎng)格和有限差分的二維Motif合并算法。分析了二維和三維Motif評定方法的發(fā)展現(xiàn)狀,探討了二維Motif合并試驗解的*性和穩(wěn)定性,將Motif合并表示為事件,對一組給定的事件集,所有可能合并的Motif的事件集都可以在一個網(wǎng)格中列舉。
微恒力E+E位移傳感器的表面形貌測量系統(tǒng)
采用基于有限差分的方法搜索Motif的峰和谷,進而編制了二維Motif評定軟件,并將 Motif評定軟件和研制的大量程表面形貌測量系統(tǒng)融為一體,便于對測量I WP=4結果進行Motif評定,并通過計算結果分析了Motif參數(shù)和傳統(tǒng)粗糙度參數(shù)之間的異同。對目前*的三維Motif的定義進行了比較,并引入數(shù)字高程模型和等高線的圖論表示方法,對三維Motif的合并進行了探討。
