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Bruker TriboLab CMP 化學機械拋光機

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具體成交價以合同協(xié)議為準

產(chǎn)品型號

品       牌Bruker/布魯克

廠商性質經(jīng)銷商

所  在  地上海市

更新時間:2024-12-12 11:37:36瀏覽次數(shù):2369次

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產(chǎn)地類別 進口
TriboLab CMP 利用其前身產(chǎn)品 (Bruker CP-4) 超過 20 年的 CMP 領域專業(yè)知識,為業(yè)界TriboLab 平臺帶來了一套完整的功能?;诒咎自O備產(chǎn)生的高精度和高可重復性使得在整個 CMP 流程中能夠進行高效的鑒別、檢查和連續(xù)功能測試。


  • 產(chǎn)品品牌: 布魯克 Bruker

  • 產(chǎn)品產(chǎn)地: 德國

  • 應用領域:

  • 產(chǎn)品簡介: 化學機械拋光研發(fā)規(guī)模的工藝研究和材料表征系統(tǒng)

TriboLab CMP 利用其前身產(chǎn)品 (Bruker CP-4) 超過 20 年的 CMP 領域專業(yè)知識,為業(yè)界的 TriboLab 平臺帶來了一套完整的功能?;诒咎自O備產(chǎn)生的高精度和高可重復性使得在整個 CMP 流程中能夠進行高效的鑒別、檢查和連續(xù)功能測試。TriboLab CMP 是市場上能夠提供廣泛的拋光壓力 (0.05-50 psi)、速度(1 至 500 rpm)、摩擦、聲發(fā)射和表面溫度測量的工藝開發(fā)工具,可準確、完整地描述 CMP 工藝和耗材。

一、亮點

1------小規(guī)模研發(fā)系統(tǒng)中的 ROI

此臺式工具可再現(xiàn)全尺寸晶圓拋光工藝條件,而無需在生產(chǎn)設備上停機。

2)靈活------參數(shù)控制

允許量身定制的測試,以加快材料開發(fā),并精確優(yōu)化流程。

3)專家------應用和支持

我們與大型安裝基地合作多年,為您的實驗室提供專業(yè)知識。

二、特點

1特征------用于 CMP 的小型研發(fā)規(guī)模專業(yè)系統(tǒng)

布魯克的TriboLab CMP工藝和材料表征系統(tǒng)是專為晶圓拋光工藝而設計,是具有可靠、靈活和高效的臺式設備。

      * 重現(xiàn)全尺寸晶圓拋光工藝條件,無需在生產(chǎn)設備上停機;

      * 提供的測量可重復性和細節(jié)檢測;

      * 允許在小樣品上進行測試,比全晶圓測試節(jié)省大量成本。

2)板載診斷系統(tǒng)可以更好地了解拋光過程

     * 比市場上任何其他系統(tǒng)提供更多的瞬態(tài)拋光過程的參數(shù);

     從接觸拋光盤開始直至整個測試過程都能收集數(shù)據(jù);

     * 通過更完整、更詳細的數(shù)據(jù)實現(xiàn)早期流程開發(fā)決策。

3)具有靈活的樣品類型、尺寸和安裝配置

     * 拋光任何平面材料,幾乎能使用任何修正盤,任何拋光液,和任何拋光墊;

     輕松使用 100 mm 以下的小尺寸晶圓;

     * 可同時安裝多個樣品,測試更靈活。




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