多工位多溫區(qū)真空管式爐結(jié)構(gòu)及工作原理：

該爐體分為兩部分，上部結(jié)構(gòu)中爐管帶爐膛可翻轉(zhuǎn)，下部為電控部分；加熱元件采用硅碳棒，爐管可采用石英管或者不銹鋼爐管，*的連接方式，可抽真空，通入多路不同的氣氛進(jìn)行保護(hù)。

多工位管式爐產(chǎn)品系周期作業(yè)，供企業(yè)實(shí)驗(yàn)室，大專院校，科研院所等單位選用，設(shè)備為用戶提供具體真空、可控氣氛及高溫的實(shí)驗(yàn)環(huán)境，應(yīng)用在半導(dǎo)體，納米技術(shù)，碳纖維等新材料新工藝領(lǐng)域薄膜沉積爐、氣相沉積爐、納米材料爐。

多工位多溫區(qū)真空管式爐主要特點(diǎn)：

爐體可作0-180度旋轉(zhuǎn)，滿足客戶不同實(shí)驗(yàn)需求，可做橫向、垂直、各種角度傾斜等多個工位實(shí)驗(yàn)。

不銹鋼帶閥真空法蘭和石英管。

可在真空或氣氛下不同角度運(yùn)行

準(zhǔn)備工作：

1、設(shè)計升降溫曲線，升溫速率不得高于10℃/分鐘，降溫速率應(yīng)低于15℃/分鐘。

2、清掃環(huán)境。

3、每周開始使用管式爐時，檢查機(jī)械泵油線處于標(biāo)線以上，拆除兩端蓋，用吸塵器清潔剛玉爐管。

4、將樣品舟推入剛與管爐膛中部（恒溫長度10cm）。

5、塞上兩塊隔熱爐塞，使第二個爐塞的末端與爐體側(cè)面平齊。

6、裝上氣爐法蘭，確認(rèn)密封墊落入槽中。