詳細(xì)介紹
寶德8715型調(diào)節(jié)侵蝕性氣體質(zhì)量流量調(diào)節(jié)器是一臺(tái)用于調(diào)節(jié)侵蝕性氣體質(zhì)量流量的裝置,它需要一個(gè)與介質(zhì)相分離的傳感器。在數(shù)字的電子調(diào)節(jié)設(shè)備中,會(huì)將傳感器提供的實(shí)際值與規(guī)定的額定值進(jìn)行比較;存在調(diào)節(jié)偏差時(shí),會(huì)通過一種 PI 調(diào)節(jié)算法對(duì)發(fā)送到比例閥上的調(diào)節(jié)參數(shù)進(jìn)行修改。這樣一來(lái),就可以將質(zhì)量流量保持在一個(gè)確定的數(shù)值上,或使其遵循規(guī)定的曲線輪廓,而不會(huì)受到壓力波動(dòng)或設(shè)備中其他變化的影響。 可針對(duì)兩種不同的氣體對(duì)型號(hào) 8715 進(jìn)行校準(zhǔn),用戶可在兩者之間進(jìn)行轉(zhuǎn)換。一個(gè)直動(dòng)式比例閥作為調(diào)節(jié)元件,確保了高反應(yīng)靈敏度和裝置良好的調(diào)節(jié)特性。通過數(shù)字方式與更高一級(jí)的設(shè)備進(jìn)行通訊,這樣一來(lái),就可以省去額外的 D/A 轉(zhuǎn)換。
寶德8715型調(diào)節(jié)侵蝕性氣體質(zhì)量流量調(diào)節(jié)器主要特點(diǎn):
采用毛細(xì)管技術(shù)的旁通儀器,適合額定流量范圍 5 mlN/min 至 15 lN/min
適合侵蝕性氣體
緊湊型版本和數(shù)字通訊
技術(shù)數(shù)據(jù):
滿量程范圍:5至15000毫升/分鐘2;N2當(dāng)量
控制范圍:1:50
操作氣體:中性或腐蝕性氣體
校準(zhǔn)氣體:使用轉(zhuǎn)換因子操作氣體或空氣
大操作壓力(進(jìn)口壓力):10巴,取決于閥門的孔口
介質(zhì)溫度:-10至+ 70℃(氧氣為-10至+60℃)
環(huán)境溫度:-10至+ 50°C 3),其他要求
準(zhǔn)確度:±1.5%o.R。±0.3%F.S。(30分鐘預(yù)熱時(shí)間后)
重復(fù)性:±0.1%F.S。
建立時(shí)間:<3秒。
電源:24 V DC
電壓容差:±10%
殘余波紋:<2%
功耗:3.5-11.5 W(取決于比例閥)
基于旁路原理:
主通道中的層流元件產(chǎn)生小的壓降。這通過旁路(傳感器管)驅(qū)動(dòng)與主流成比例的小流量,兩個(gè)連接在測(cè)量橋上的加熱電阻受到不銹鋼管的影響。在零流量狀態(tài)下,橋是平衡的,但是隨著流量的增加,熱量沿流動(dòng)方向傳輸,橋變得不平衡。測(cè)量的動(dòng)態(tài)受到作為熱障的管壁的限制。通過在控制器中使用合適的軟件,可以獲得適用于各種應(yīng)用的響應(yīng)時(shí)間(在幾秒鐘的范圍內(nèi))。對(duì)于受污染的氣體,我們建議在上游安裝過濾器元件。這樣就避免了主流和傳感管之間的分配比例的變化,以及由于傳感器管壁上的沉積而導(dǎo)致的傳熱變化。通過這些傳感器,甚至可以控制侵蝕性氣體,因?yàn)樗信c氣體接觸的主要部分都是用不銹鋼鋼。