311157寶德8741型氣體流量控制器借助 MEMS 傳感器進(jìn)行氣體質(zhì)量流量的測量（用作 MFM）或者調(diào)節(jié)（作為 MFC）工作。傳感器直接接觸氣體，因而可以在幾百毫秒之內(nèi)極其快速地做出反應(yīng)。此外，測量工作不受壓力或者溫度波動(dòng)的影響?？梢詫?duì) MFC/MFM 進(jìn)行校準(zhǔn)，使其用于測量/調(diào)節(jié)兩種不同的氣體，用戶可以在這兩種氣體之間進(jìn)行切換。

311157寶德8741型氣體流量控制器必要時(shí)可以設(shè)置為 MFC 或者 MFM，且規(guī)定用于büS或者CANopen網(wǎng)絡(luò)中。büS網(wǎng)絡(luò)技術(shù)以CAN物理層為基礎(chǔ)，Bürkert特別為涉及多個(gè)控制回路（通過工業(yè)以太網(wǎng)或者其他現(xiàn)場總線加以驅(qū)動(dòng)）的應(yīng)用而對(duì)其進(jìn)行了研發(fā)。型號(hào)為ME2X的系統(tǒng)控制單元將客戶的以太網(wǎng)通信傳輸?shù)剿姓叩腷üS中，并驅(qū)動(dòng)所有相連的電子設(shè)備。設(shè)備之間的通信可以在 büS 和 CANopen 之間切換。借此311157寶德8741型氣體流量控制器也可以集成到現(xiàn)有的CANopen基礎(chǔ)設(shè)施中。借助 MEMS 傳感器進(jìn)行氣體質(zhì)量流量的測量（用作 MFM）或者調(diào)節(jié)（作為 MFC）工作。傳感器直接接觸氣體，因而可以在幾百毫秒之內(nèi)極其快速地做出反應(yīng)。此外，測量工作不受壓力或者溫度波動(dòng)的影響。可以對(duì) MFC/MFM 進(jìn)行校準(zhǔn)，使其用于測量/調(diào)節(jié)兩種不同的氣體，用戶可以在這兩種氣體之間進(jìn)行切換。

主要特點(diǎn)：
采用 MEMS 技術(shù)直接測量流量
測量和重復(fù)精度高
反應(yīng)時(shí)間非常之短
現(xiàn)場總線通信基于 CANopen

311157寶德8741型氣體質(zhì)量流量控制器技術(shù)數(shù)據(jù)：
控制范圍：1:50
建立時(shí)間：<3秒
重復(fù)性：±0.1％F.S.
操作氣體：中性或腐蝕性氣體
滿量程范圍1：5 ... 15000 mlN / min2）
校準(zhǔn)氣體：使用轉(zhuǎn)換因子操作氣體或空氣
大工作壓力：10 bar（145 psi），取決于閥的孔口
環(huán)境溫度：-10 ... + 50°C，其他要求
介質(zhì)溫度：-10 ... + 70°C（氧氣為-10 ... + 60°C）
建立時(shí)間：<3秒準(zhǔn)確度：±1.5％o.R. ±0.3％F.S.（30分鐘預(yù)熱時(shí)間后）

311157寶德8741型氣體質(zhì)量流量控制器測量原理：
層流元件主通道產(chǎn)生小的壓降，這將驅(qū)動(dòng)一個(gè)小流量，與主流成比例，旁路（傳感器管）。兩個(gè)連接到測量橋的加熱電阻被擊中此不銹鋼管。 在零流量條件下，橋梁是平衡的，但隨著交通量的增加，熱量在流動(dòng)方向上傳輸，橋梁變得不平衡。測量的動(dòng)態(tài)受到熱屏障壁的限制。 通過在控制器中使用適當(dāng)?shù)能浖?，?duì)于各種應(yīng)用，響應(yīng)時(shí)間在幾秒鐘的范圍內(nèi)。對(duì)于受污染的氣體，我們建議在上游安裝過濾器。 這樣可以避免主流與傳感器管之間的分配比率發(fā)生變化，以及由傳感器管壁上的沉積物引起的變化。