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311157寶德8741型氣體流量控制器

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更新時(shí)間:2024-11-06 14:59:40瀏覽次數(shù):1059

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產(chǎn)品簡介

311157寶德8741型氣體流量控制器借助 MEMS 傳感器進(jìn)行氣體質(zhì)量流量的測量(用作 MFM)或者調(diào)節(jié)(作為 MFC)工作。傳感器直接接觸氣體,因而可以在幾百毫秒之內(nèi)極其快速地做出反應(yīng)。此外,測量工作不受壓力或者溫度波動(dòng)的影響??梢詫?duì) MFC/MFM 進(jìn)行校準(zhǔn),使其用于測量/調(diào)節(jié)兩種不同的氣體,用戶可以在這兩種氣體之間進(jìn)行切換。

詳細(xì)介紹

311157寶德8741型氣體流量控制器必要時(shí)可以設(shè)置為 MFC 或者 MFM,且規(guī)定用于büS或者CANopen網(wǎng)絡(luò)中。büS網(wǎng)絡(luò)技術(shù)以CAN物理層為基礎(chǔ),Bürkert特別為涉及多個(gè)控制回路(通過工業(yè)以太網(wǎng)或者其他現(xiàn)場總線加以驅(qū)動(dòng))的應(yīng)用而對(duì)其進(jìn)行了研發(fā)。型號(hào)為ME2X的系統(tǒng)控制單元將客戶的以太網(wǎng)通信傳輸?shù)剿姓叩腷üS中,并驅(qū)動(dòng)所有相連的電子設(shè)備。設(shè)備之間的通信可以在 büS 和 CANopen 之間切換。借此311157寶德8741型氣體流量控制器也可以集成到現(xiàn)有的CANopen基礎(chǔ)設(shè)施中。借助 MEMS 傳感器進(jìn)行氣體質(zhì)量流量的測量(用作 MFM)或者調(diào)節(jié)(作為 MFC)工作。傳感器直接接觸氣體,因而可以在幾百毫秒之內(nèi)極其快速地做出反應(yīng)。此外,測量工作不受壓力或者溫度波動(dòng)的影響。可以對(duì) MFC/MFM 進(jìn)行校準(zhǔn),使其用于測量/調(diào)節(jié)兩種不同的氣體,用戶可以在這兩種氣體之間進(jìn)行切換。

主要特點(diǎn):
采用 MEMS 技術(shù)直接測量流量
測量和重復(fù)精度高
反應(yīng)時(shí)間非常之短
現(xiàn)場總線通信基于 CANopen

311157寶德8741型氣體質(zhì)量流量控制器技術(shù)數(shù)據(jù):
控制范圍:1:50
建立時(shí)間:<3秒
重復(fù)性:±0.1%F.S.
操作氣體:中性或腐蝕性氣體
滿量程范圍1:5 ... 15000 mlN / min2)
校準(zhǔn)氣體:使用轉(zhuǎn)換因子操作氣體或空氣
大工作壓力:10 bar(145 psi),取決于閥的孔口
環(huán)境溫度:-10 ... + 50°C,其他要求
介質(zhì)溫度:-10 ... + 70°C(氧氣為-10 ... + 60°C)
建立時(shí)間:<3秒準(zhǔn)確度:±1.5%o.R. ±0.3%F.S.(30分鐘預(yù)熱時(shí)間后)

311157寶德8741型氣體質(zhì)量流量控制器測量原理:
層流元件主通道產(chǎn)生小的壓降,這將驅(qū)動(dòng)一個(gè)小流量,與主流成比例,旁路(傳感器管)。兩個(gè)連接到測量橋的加熱電阻被擊中此不銹鋼管。 在零流量條件下,橋梁是平衡的,但隨著交通量的增加,熱量在流動(dòng)方向上傳輸,橋梁變得不平衡。測量的動(dòng)態(tài)受到熱屏障壁的限制。 通過在控制器中使用適當(dāng)?shù)能浖?,?duì)于各種應(yīng)用,響應(yīng)時(shí)間在幾秒鐘的范圍內(nèi)。對(duì)于受污染的氣體,我們建議在上游安裝過濾器。 這樣可以避免主流與傳感器管之間的分配比率發(fā)生變化,以及由傳感器管壁上的沉積物引起的變化。

 

 

 

 

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