詳細介紹
BURKERT8741型質(zhì)量流量計必要時可以設置為 MFC 或者 MFM,且規(guī)定用于 büS 或者 CANopen 網(wǎng)絡中。büS 網(wǎng)絡技術(shù)以 CAN 物理層為基礎,Bürkert 特別為涉及多個控制回路(通過工業(yè)以太網(wǎng)或者其他現(xiàn)場總線加以驅(qū)動)的應用而對其進行了研發(fā)。型號為 ME2X 的系統(tǒng)控制單元 (SCU, System Control Unit) 將客戶的以太網(wǎng)通信傳輸?shù)剿姓叩?büS 中,并驅(qū)動所有相連的電子設備。 設備之間的通信可以在 büS 和 CANopen 之間切換。借此,8741 型也可以集成到現(xiàn)有的 CANopen 基礎設施中。BURKERT8741型質(zhì)量流量計借助 MEMS 傳感器進行氣體質(zhì)量流量的測量(用作 MFM)或者調(diào)節(jié)(作為 MFC)工作。傳感器直接接觸氣體,因而可以在幾百毫秒之內(nèi)極其快速地做出反應。此外,測量工作不受壓力或者溫度波動的影響??梢詫?MFC/MFM 進行校準,使其用于測量/調(diào)節(jié)兩種不同的氣體,用戶可以在這兩種氣體之間進行切換。
主要特點:
采用 MEMS 技術(shù)直接測量流量
測量和重復精度高
反應時間非常之短
現(xiàn)場總線通信基于 CANopen
技術(shù)數(shù)據(jù):
額定流量范圍:10 mlN / min至160 lN / min(N2)
調(diào)低比例:50:1,可選100:1
工作介質(zhì):中性,無污染氣體,其他要求
校準介質(zhì):使用氣體或空氣
大操作壓力(超壓至大氣壓力):10巴(145 psi),MFC大。 壓力取決于閥的孔口
介質(zhì)溫度:-10°C至+70°C(-10°C至+60°C,含氧氣)
環(huán)境溫度:-10至+50°C(根據(jù)要求可提供更高的溫度)
測量精度; ±0.8%o.R. ±0.3%F.S.(1分鐘預熱時間后)
重復性:±0.1%F.S.
沉降(MFC)/響應(MFM)時間(t95%):<300 ms
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