詳細(xì)介紹
BURKERT-8741型氣體質(zhì)量流量計(jì)必要時(shí)可以設(shè)置為 MFC 或者 MFM,且規(guī)定用于 büS 或者 CANopen 網(wǎng)絡(luò)中。büS 網(wǎng)絡(luò)技術(shù)以 CAN 物理層為基礎(chǔ),Bürkert 特別為涉及多個(gè)控制回路(通過工業(yè)以太網(wǎng)或者其他現(xiàn)場(chǎng)總線加以驅(qū)動(dòng))的應(yīng)用而對(duì)其進(jìn)行了研發(fā)。型號(hào)為 ME2X 的系統(tǒng)控制單元將客戶的以太網(wǎng)通信傳輸?shù)剿姓叩?büS 中,并驅(qū)動(dòng)所有相連的電子設(shè)備。設(shè)備之間的通信可以在 büS 和 CANopen 之間切換。借此,8741 型也可以集成到現(xiàn)有的 CANopen 基礎(chǔ)設(shè)施中。 BURKERT-8741型氣體質(zhì)量流量計(jì)借助 MEMS 傳感器進(jìn)行氣體質(zhì)量流量的測(cè)量(用作 MFM)或者調(diào)節(jié)(作為 MFC)工作。傳感器直接接觸氣體,因而可以在幾百毫秒之內(nèi)極其快速地做出反應(yīng)。此外,測(cè)量工作不受壓力或者溫度波動(dòng)的影響??梢詫?duì) MFC/MFM 進(jìn)行校準(zhǔn),使其用于測(cè)量/調(diào)節(jié)兩種不同的氣體,用戶可以在這兩種氣體之間進(jìn)行切換。
主要特點(diǎn):
采用MEMS技術(shù)直接測(cè)量流量
額定流量范圍從0.010 lN / min到160 lN / min
高精度和可重復(fù)性
響應(yīng)時(shí)間非???br />現(xiàn)場(chǎng)總線通信基于CANopen
通過配置存儲(chǔ)器輕松更換設(shè)備
有兩個(gè)版本:8741標(biāo)準(zhǔn)和8741büS/ CANopen
關(guān)于配置的注意事項(xiàng):
為了正確選擇MFC內(nèi)的執(zhí)行器孔口,不僅需要獲得大流量Qnom,而且還應(yīng)該知道在此流量Qnom下的MFC(p1,p2)之前和之后的壓力值。通常,這些壓力是與整個(gè)設(shè)備的整體進(jìn)口和出口壓力不一樣,因?yàn)橥ǔT诳刂破髦昂椭蠖即嬖诟郊拥牧髁侩娮杵鳎ü艿溃郊拥慕刂归y,噴嘴等)。
MFC之前和之后的壓力,如果這些測(cè)量值應(yīng)該是未知的或者不能被測(cè)量到,則需要考慮MFC前后流量電阻器上的近似壓降,以Qnom的流量分別計(jì)算。此外,請(qǐng)引用大進(jìn)口壓力這個(gè)數(shù)據(jù)是必需的,以確保執(zhí)行器能夠在所有的操作模式中提供緊密的功能。
實(shí)際流量由傳感器檢測(cè)。 這根據(jù)熱原理運(yùn)行,其優(yōu)點(diǎn)是提供了與壓力和溫度無關(guān)的質(zhì)量流量。總氣流的一小部分被轉(zhuǎn)移到小的專門設(shè)計(jì)的旁路通道中,從而確保層流條件。傳感器元件是 一個(gè)浸入該流道壁的芯片。 采用MEMS技術(shù)生產(chǎn)的芯片包含一個(gè)加熱電阻器和兩個(gè)對(duì)稱布置在加熱器上游和下游的溫度傳感器(熱電堆)。 熱電堆的差分電壓是通過流量傳感器的質(zhì)量流率的度量。 校準(zhǔn)過程實(shí)現(xiàn)了傳感器信號(hào)與通過設(shè)備的總流量的分配。