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半導(dǎo)體晶片和玻璃面板運輸過程中的振動測量特點
2022-12-2 閱讀(608)
半導(dǎo)體晶片和玻璃面板運輸過程中的振動測量特點
1.測量條件
使用的測量儀器
高速3通道無線振動記錄儀MVP-RF3-HC
測量對象
液晶玻璃面板
尺寸
約 1.5m x 1.9m x 1.8mm
測量位置
將記錄器固定在玻璃基板的中心附近
固定方法
包裝膠布
輸送方向
Z軸方向(面板垂直方向)
2. 加速度波形(振動波形)測量數(shù)據(jù)
加速度數(shù)據(jù)是從晶圓移動開始到停止的這段時間測量的。
高速3通道無線振動記錄儀內(nèi)置3軸加速度傳感器,因此可以同時測量3個方向的加速度值。
<最大加速度>
<討論>
在這種載體中,啟動和停止時的加速度(振動)很大。
運輸過程中加速度小。
開始移動時施加的加速度(振動)更大。
施加加速度(振動)的方向在 Z 軸方向(面板厚度方向)最大。
最大加速度(振動)約為9.8m/sec^2(約1.0G)
3. FFT分析
<FFT分析條件>
在上述“加速度波形數(shù)據(jù)"中,提取并分析“開始移動"時的數(shù)據(jù)(0至1秒)。
<FFT分析結(jié)果>
<討論>
Z軸方向(面板厚度方向)在50Hz附近有一個譜峰。
→是面板的固有振動頻率嗎?如果設(shè)備運行中有50Hz附近的頻率成分,由于共振的影響,面板損壞的可能性增加,估計成品率會下降。
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