根據(jù)傳感器的結(jié)構(gòu)可把電容式傳感器分為三種類型的結(jié)構(gòu)形式。它們又可按位移的形式分為線位移和角位移兩種，每一種又依據(jù)傳感器極板形狀分成平(圓形)板形和圓柱(圓筒)形，雖然還有球面形和鋸齒形等其他形狀，但一般很少用。其中差動式一般優(yōu)于單組(單邊)式傳感器，它具有靈敏度高、線性范圍寬、穩(wěn)定性高等特點。
1)溫度穩(wěn)定性好
電容式傳感器的電容值一般與材料無關(guān)，這有利于選擇低的材料，又因本身發(fā)熱極小，影響穩(wěn)定性甚微。而電阻傳感器有，易發(fā)熱產(chǎn)生。
2)結(jié)構(gòu)簡單
電容式傳感器結(jié)構(gòu)簡單，易于制造和保證高的精度，可以做得非常小巧，以實現(xiàn)某些特殊的測量；能工作在高溫，強輻射及強磁場等惡劣的環(huán)境中，可以承受很大的溫度變化，承受高壓力，高沖擊，過載等；能測量超高溫和低，也能對帶磁工作進(jìn)預(yù)*預(yù)*預(yù)*預(yù)*預(yù)*預(yù)先進(jìn)行測量。
3)動態(tài)響應(yīng)好
電容式傳感器由于帶電極板間的很小(約幾個10^(-5)N)，需要的作用能量極小，又由于它的可動部分可以做得很小很薄，即質(zhì)量很輕，因此其固有頻率很高，動態(tài)響應(yīng)時間短，能在幾兆赫茲的頻率下工作，特別適用于動態(tài)測量。又由于其介質(zhì)損耗小可以用較高頻率供電，因此系統(tǒng)工作頻率高。它可用于測量高速變化的參數(shù)。
4)可以且靈敏度高
可非接觸測量回轉(zhuǎn)軸的振動或、小型滾珠軸承的等。當(dāng)采用非接觸測量時，電容式傳感器具有平均效應(yīng)，可以減小工件等對測量的影響。
電容式傳感器除了上述的優(yōu)點外，還因其帶電極板間的靜電引力很小，所需輸首*首*首*首*首*首先進(jìn)入力和輸首*首*首*首*首*首先進(jìn)入能量極小，因而可測極低的壓力、力和很小的加速度、位移等，可以做得很靈敏，分辨力高，能感應(yīng)0.01μm甚至更小的位移。由于其空氣等介質(zhì)損耗小，采用差動結(jié)構(gòu)并接成電橋式時產(chǎn)生的零殘極小，因此允許電路進(jìn)預(yù)*預(yù)*預(yù)*預(yù)*預(yù)*預(yù)先進(jìn)行高倍率放大，使儀器具有很高的靈敏度。
電容式傳感器具有結(jié)構(gòu)簡單、耐高溫、耐輻射、分辨率高、動態(tài)響應(yīng)特性好等優(yōu)點，廣泛用于壓力、位移、加速度、厚度、振動、液位等測量中。但在使用中要注意以下幾個方面對測量結(jié)果的影響：①減小環(huán)境溫度、濕度變化(可能引起某些介質(zhì)的介電常數(shù)或極板的幾何尺寸、相對位置發(fā)生變化)；②減小邊緣效應(yīng)；③減少寄生電容；④使用屏蔽電極并接地(對敏感電極的電場起保護(hù)作用，與外電場隔離)；⑤注意漏電阻、激勵頻率和極板支架材料的絕緣性。
