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當(dāng)前位置：上海富瞻環(huán)?？萍加邢薰?/a>>>測(cè)量/計(jì)量?jī)x器>>表界面物性測(cè)試>> FSM 413紅外干涉測(cè)量設(shè)備
| 參 考 價(jià) | 面議 |
產(chǎn)品型號(hào)FSM 413
品 牌其他品牌
廠商性質(zhì)生產(chǎn)商
所 在 地上海市
更新時(shí)間：2023-05-23 11:57:22瀏覽次數(shù)：549次
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| 產(chǎn)地類(lèi)別 | 進(jìn)口 | 價(jià)格區(qū)間 | 面議 |
|---|---|---|---|
| 應(yīng)用領(lǐng)域 | 醫(yī)療衛(wèi)生,生物產(chǎn)業(yè),能源,電子/電池,制藥/生物制藥 |
產(chǎn)品品牌：Frontier Semiconductor
產(chǎn)品型號(hào)：FSM 413
紅外干涉測(cè)量設(shè)備適用于可讓紅外線通過(guò)的材料
硅、藍(lán)寶石、砷化鎵、磷化銦、碳化硅、玻璃、石 英、聚合物…………
襯底厚度(不受圖案硅片、有膠帶、凹凸或者粘合硅片影響)
平整度
厚度變化 (TTV)
溝槽深度
過(guò)孔尺寸、深度、側(cè)壁角度
粗糙度
薄膜厚度
環(huán)氧樹(shù)脂厚度
襯底翹曲度
晶圓凸點(diǎn)高度(bump height)
MEMS 薄膜測(cè)量
TSV 深度、側(cè)壁角度...
測(cè)量方式: 紅外干涉(非接觸式)
樣本尺寸: 50、75、100、200、300 mm
測(cè)量厚度: 30 — 780 μm (單探頭)
3 mm (雙探頭總厚度測(cè)量)
掃瞄方式: 半自動(dòng)及全自動(dòng)型號(hào),
另2D/3D掃瞄(Mapping)可選
襯底厚度測(cè)量: TTV、平均值、小值、大值、公差...
粗糙度: 20 — 1000? (RMS)
重復(fù)性: 0.1 μm (1 sigma)單探頭*
0.8 μm (1 sigma)雙探頭*
分辨率: 10 nm
設(shè)備尺寸:
413-200: 26"(W) x 38" (D) x 56" (H)
413-300: 32"(W) x 46" (D) x 66" (H)
重量: 500 lbs
電源 : 110V/220VAC 真空: 100 mm Hg
*樣本表面光滑（一般粗糙度小于0.1μm RMS)
** 150μm厚硅片（沒(méi)圖案、雙面拋光并沒(méi)有摻雜）
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