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當前位置:> 供求商機> FS-N 系列半導體氣動泵
高速沖程
高速沖程 (FS-80N最高達200 spm),讓結構緊湊、重量輕、成本低,可同時用于高流量及高壓力工況。
無污染設計
過流端采用氟樹脂無污染構造,使用的軸封顯著降低顆粒的產(chǎn)生(已申請)。
高流量及高吐出壓力
最大吐出量高達0.7MPa,不僅滿足化學供藥過程中高流量及高吐出壓力的需求,同時適用于清洗及CMP制程。
傳感器驅動系統(tǒng)
內置式開關通過傳感器驅動系統(tǒng)打開/關閉電磁閥。因此,即使連接各種控制器,亦可以輕易控制吐出量。
規(guī)格
最大吐出量 | 100 L/min |
最大吐出壓力 | 0.7 MPa |
最大耗氣量 | 1495 NL/min |
最大沖程率 | 100 spm |
主要材質 | PTFE, PFA |
液體輸送溫度范圍 | 5 ~ 60 °C |
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