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?公司簡介
--Freiberg Instruments成立于2005年，源自德國弗萊貝格工業(yè)大學。初致力于開發(fā)一系列快速、無損的電氣特性測試工具，用于測量少數(shù)載流子壽命、光電導率和電阻率等參數(shù)。
--2012年整合了Magnettech公司，該公司擁有25年ESR順磁產品經驗；2015年又整合了EFG的X射線衍射產品。
--Freiberg Instruments是一家發(fā)展迅速，充滿活力，專業(yè)又具有創(chuàng)新的的分析儀器公司，產品廣泛應用于劑量學、醫(yī)學研究、材料研究、電子自旋共振、微電子學、光伏、發(fā)光年代測定和x射線衍射等領域。
?產品介紹
--弗萊貝格的MDPpro（MDPpro晶圓片/晶錠壽命檢測儀--少子壽命）系列主要用于測量少子壽命、光電導率、電阻率和樣品平整度及p/n檢查等，其非接觸式檢測和無損成像（μPCD /MDP(QSS)）的設計*符合SEMI標準PV9-1110。
--這也使得該儀器在晶圓切割、爐內監(jiān)控和材料優(yōu)化以及常規(guī)質量控制、精密材料研發(fā)的單晶和多晶片及晶錠的壽命測量等領域被廣泛應用?？梢哉f，MDPpro（MDPpro晶圓片/晶錠壽命檢測儀--少子壽命）算得上是晶錠生產商以及晶體爐技術生產商d的標準儀器。
?特性&優(yōu)勢:
--無接觸和無破壞的半導體檢測；
--特殊“underneath the surface”壽命測量技術；
--對不可見缺陷的可視化測試具有很高靈敏度；
--自動設置硅錠切割標準；
--空間分辨p/n電導型變換檢測；
--多項數(shù)據同時自動檢測掃描，5幅測量圖形同時繪制；
--堅固耐用的設計和易于設置的性能。安裝，僅需要電源。
?應用實例
-1.日常壽命測量，質量控制和檢驗
--產量：>240塊/天或>720片/天
--測量速度：對于156x156x400mm標準晶錠，<4分鐘
--良品率提升：1mm切割標準為156x156x400mm標準晶錠
--質量控制：用于過程和材料的質量監(jiān)控，如單晶硅或多晶硅
--沾污檢測：起源于坩堝和生產設備的金屬(Fe)
--可靠性：模塊化和堅固耐用的工業(yè)儀器，更高可靠性，運行時間> 99%
--可重復性:> 99.5%
--電阻率：可做面掃描，不需經常校準
-2. 精密材料研發(fā)
--a.鐵濃度測定
--b.陷阱濃度測定
--c.硼氧測定
--d.依賴于注入的測量等
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