目錄:上海溪拓科學(xué)儀器有限公司>>德國Kleindiek>>Prober Shuttle>> PS4/PS8Prober Shuttle PS8
Prober Shuttle PS8, 超緊湊的 PS8可安裝多達(dá)八個MM4 微機(jī)械手以及一個三軸子平臺。27 個軸中的每個軸都能以JI高的精度進(jìn)行定位。探針的 Z 驅(qū)動向上擺動 90°，便于接近樣品，也便于快速更換針尖。
每個微型MM4機(jī)械手都配備了用于低電流測量套件。整個平臺可通過一個 6" Load Lock進(jìn)入掃描電鏡或掃描電鏡/FIB 的真空室。
Prober Shuttle PS8,還配有高級探測工具套件（可選），可為Probing探測應(yīng)用提供大量附加功能?？捎糜诎雽?dǎo)體材料，器件，結(jié)構(gòu)等電學(xué)性能分析。
系統(tǒng)特點(diǎn)
所有空氣側(cè)硬件均安裝在 19 英寸機(jī)架上
電子設(shè)備機(jī)架位于操作員視線之外
通過 APT UI 控制整個系統(tǒng)
從法蘭到機(jī)架的整潔電纜管理
針對電路編輯應(yīng)用的 FIB 傾斜探測
非磁性設(shè)計
可用于5納米及更高
(空格分隔,最多3個,單個標(biāo)簽最多10個字符)
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