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PDMS微流控芯片制作系統(tǒng) EasyPDMS

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更新時(shí)間:2022-08-05 11:38:24瀏覽次數(shù):1551

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PDMS微流控芯片制作系統(tǒng) EasyPDMS PDMS芯片制作一般包含以下所列舉工藝:① 清洗;② 勻膠;③ 曝光光刻;④ 顯影;⑤ 烤膠;⑥ PDMS成型;⑦ 等離子表面活化處理;⑧ 鍵合;⑨ 打孔。EasyPDMS微流控芯片制作系統(tǒng)可以提供完成以上各工藝流程的整套系統(tǒng)或單個(gè)設(shè)備。

詳細(xì)介紹

PDMS微流控芯片制作系統(tǒng) EasyPDMS

圖片

 

簡(jiǎn)介

PDMS微流控芯片制作系統(tǒng) EasyPDMS PDMS芯片制作一般包含以下所列舉工藝:① 清洗;② 勻膠;③ 曝光光刻;④ 顯影;⑤ 烤膠;⑥ PDMS成型;⑦ 等離子表面活化處理;⑧ 鍵合;⑨ 打孔。PDMS微流控芯片制作系統(tǒng) EasyPDMS制作系統(tǒng)可以提供完成以上各工藝流程的整套系統(tǒng)或單個(gè)設(shè)備。

用戶可以根據(jù)自己的需求從設(shè)備列表中選取所對(duì)應(yīng)工藝的設(shè)備,同時(shí),我們也提供PDMS芯片制作實(shí)驗(yàn)室的整體方案設(shè)計(jì)和搭建服務(wù),從潔凈間設(shè)計(jì)到實(shí)驗(yàn)室布局,再到設(shè)備選擇,以及用戶采購(gòu)后的安裝調(diào)試及培訓(xùn), 客戶只需要提出需求,我們提供一整套服務(wù),可以做到交鑰匙工程。

 

工藝及設(shè)備對(duì)應(yīng)表格:

工藝名稱

設(shè)備儀器名稱

型號(hào)

清洗

等離子清洗機(jī)

CUTE

超聲清洗機(jī)

市售標(biāo)準(zhǔn)型號(hào)

勻膠

勻膠顯影機(jī)

SC100

PDMS成型機(jī)

ZentriForm

曝光光刻(2選1)

曝光機(jī)

UV-KUB 2

UV-KUB 3

顯影(2選1)

勻膠顯影機(jī)

SC100

簡(jiǎn)易顯影池

客戶自備

烤膠

精密熱板

HP100

PDMS成型(2選1)

PDMS成型機(jī)

ZentriForm

培養(yǎng)皿/熱板

客戶自備培養(yǎng)皿/HP100

表面活化處理

等離子清洗機(jī)

CUTE

鍵合

精密熱板

HP100

打孔

打孔器

PDMS Port Creator

打孔針

市售標(biāo)準(zhǔn)型號(hào)

 

規(guī)格參數(shù)

項(xiàng)目

參數(shù)

適用芯片

PDMS芯片制作

小結(jié)構(gòu)分辨率

2um

 

功能圖解

設(shè)備簡(jiǎn)介

 清洗工藝:超聲清洗機(jī)(左)和CUTE 等離子清洗機(jī)(右)

② 勻膠工藝(2選1)SC100勻膠顯影(左)和ZentriForm PDMS成型機(jī)(右,具備勻膠功能)

 曝光光刻(2選1):UV-KUB 2單層光刻機(jī)(左)和UV-KUB 3對(duì)位光刻機(jī)(右)

④ 顯影SC100勻膠顯影機(jī)

⑤ 烤膠:HP100 精密熱板

⑥PDMS成型:ZentriForm PDMS成型機(jī)

⑦等離子表面活化處理:CUTE 等離子清洗機(jī)

⑧鍵合:HP100 精密熱板

⑨打孔:打孔器

 

應(yīng)用系統(tǒng)

PDMS芯片制作

 

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