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合肥康帕因設(shè)備技術(shù)有限公司
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PECVD

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產(chǎn)品型號

品       牌

廠商性質(zhì)生產(chǎn)商

所  在  地合肥市

更新時間：2024-04-29 10:13:29瀏覽次數(shù)：3160次

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PECVD化學(xué)氣相沉積多通道質(zhì)量流量控制系統(tǒng)一款多路質(zhì)量流量計(jì)控制系統(tǒng)，其質(zhì)量流量計(jì)和不銹鋼混氣罐都安裝在一個移動柜里，移動柜Z大可以承重1000Lbs，所以在與本公司大多數(shù)管式爐配套使用時，可將設(shè)備置于移動柜上以節(jié)約空間。
　　PECVD化學(xué)氣相沉積設(shè)備質(zhì)量流量控制系統(tǒng)一款多路質(zhì)量流量計(jì)控制系統(tǒng)，其質(zhì)量流量計(jì)和不銹鋼混氣罐都安裝在一個移動柜里，移動柜Z大可以承重1000Lbs，所以在與本公司大多數(shù)管式爐配套使用時，可將設(shè)備置于移動柜上以節(jié)約空間。
 
　　工作溫度：5~45?C
 
　　zui大壓力:3x106 Pa
 
　　精度: ±1.5% FS
 
　　線性:±(0.5-1.5)%F.S
 
　　重復(fù)精度: ±0.2%F.S.
 
　　流量范圍:
 
　　一路:1~199 SCCM
 
　　二路:1~499 SCCM
 
　　PECVD注意：其他流量范圍的可定制，需額外費(fèi)用
 
　　化學(xué)氣相沉積設(shè)備CVD1200C-II-SL200D50-5Z雙溫區(qū)滑軌式CVD系統(tǒng)由雙溫區(qū)滑軌爐、質(zhì)子流量控制系統(tǒng)、真空系統(tǒng)三部分組成。雙溫區(qū)滑軌爐可移動并可實(shí)現(xiàn)快速升降溫；PLC控制5路質(zhì)子流量器，能夠精確控制系統(tǒng)的供氣；真空泵可實(shí)現(xiàn)對管式爐快速抽真空。CVD(化學(xué)氣象沉積系統(tǒng))常用于表面材料生長、沉積，是一款實(shí)驗(yàn)室常用設(shè)備技術(shù)參數(shù)

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