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　　進(jìn)口掃描電鏡是使用較為廣泛的分析工具之一，因?yàn)樗梢钥焖偬峁悠繁砻婧徒砻娴母叻直媛屎透呔吧顖D像。結(jié)合微切刀的能力，它可以提供亞納米分辨率的橫截面圖像，并縮短周轉(zhuǎn)時(shí)間。因其作用特點(diǎn)，目前已廣泛用于材料科學(xué)（金屬材料、非金屬材料、納米材料）、冶金、生物學(xué)、醫(yī)學(xué)、半導(dǎo)體材料與器件、地質(zhì)勘探、病蟲害的防治、災(zāi)害（火災(zāi)、失效分析）鑒定、刑事偵察、寶石鑒定、工業(yè)生產(chǎn)中的產(chǎn)品質(zhì)量鑒定及生產(chǎn)工藝控制等領(lǐng)域。
 

　　工作原理：

　　掃描電鏡由電子槍發(fā)射出來的電子束，在加速電壓的作用下，經(jīng)過磁透鏡系統(tǒng)匯聚，形成直徑為5nm，經(jīng)過二至三個(gè)電磁透鏡所組成的電子光學(xué)系統(tǒng)，電子束會(huì)聚成一個(gè)細(xì)的電子束聚焦在樣品表面。在末級(jí)透鏡上邊裝有掃描線圈，在它的作用下使電子束在樣品表面掃描。由于高能電子束與樣品物質(zhì)的交互作用，結(jié)果產(chǎn)生了各種信息：二次電子、背反射電子、吸收電子、X射線、俄歇電子、陰極發(fā)光和透射電子等。這些信號(hào)被相應(yīng)的接收器接收，經(jīng)放大后送到顯像管的柵極上，調(diào)制顯像管的亮度。由于經(jīng)過掃描線圈上的電流是與顯像管相應(yīng)的亮度一一對(duì)應(yīng)，也就是說，電子束打到樣品上一點(diǎn)時(shí)，在顯像管熒光屏上就出現(xiàn)一個(gè)亮點(diǎn)。

　　掃描電鏡正是這樣利用逐點(diǎn)成像將樣品表面的不同特性，依次、成比例地變換成視頻信號(hào)來完成一幀，這樣，我們就可以從熒光屏中看到試樣表面多種特征圖像。
 

　　進(jìn)口掃描電鏡下的圖像結(jié)果：

　　一、材料失效分析，利用掃描電鏡進(jìn)行正確的金相分析各種光學(xué)顯微鏡不能分辨顯微組織與精密結(jié)構(gòu)，所以金相分析一般在低倍分析及光學(xué)顯微鏡分析的基礎(chǔ)上結(jié)合結(jié)構(gòu)分析(如X射線衍射分析、電子衍射分析)和微區(qū)成分分析(如波譜儀、能譜儀)等完成的。
 

　　二、斷口分析來明確材料斷裂機(jī)理，進(jìn)行缺口分析，是掃描電鏡在失效分析中比較主要的應(yīng)用。能夠?qū)嗔褭C(jī)理進(jìn)行分析歸類，明確斷裂的類型，并且對(duì)裂紋源位置和擴(kuò)展方向作出判定，明確金屬材料的主要斷裂機(jī)理。
 

　　三、磨損產(chǎn)物分析，能夠?qū)δp表面及磨損產(chǎn)物等進(jìn)行分析，磨損表面攜帶了磨損主要的信息。磨損表面形貌有：擦傷、犁溝、點(diǎn)蝕、剝層、微動(dòng)咬蝕及氣蝕魚鱗坑等，磨損產(chǎn)物主要有正常磨粒、疲勞剝塊、球粒、層狀磨粒、嚴(yán)重磨粒、切削磨粒、腐蝕磨損微粒、氧化顆粒、暗金屬氧化物磨粒、有色金屬磨粒、非金屬晶體及非金屬非晶體等。磨損產(chǎn)物的分析可以結(jié)合鐵譜技術(shù)、體視技術(shù)、結(jié)構(gòu)、成分分析等。
 

　　四、對(duì)腐蝕的檢驗(yàn)分析，金屬腐蝕失效會(huì)在表面或斷口上留下各種腐蝕產(chǎn)物，其特點(diǎn)及相關(guān)形貌有：均勻腐蝕、斑點(diǎn)腐蝕、膿瘡腐蝕、點(diǎn)腐蝕、晶間腐蝕、縫隙腐蝕、穿晶腐蝕等，一般情況通過宏觀檢驗(yàn)及光學(xué)顯微鏡分析，也可以進(jìn)行精準(zhǔn)分析。
 

　　五、鋼索斷裂的失效分析，電鏡具有很高的分辨率，可以觀察組成材料的顆粒或微晶，在保持表面潔凈的條件下加壓成型而得到的固體材料。