氣源控制
（1）.氮氣（N2）系統(tǒng)：氮氣由氣瓶間氣瓶提供，一用一備，經(jīng)過半自動切換面板調(diào)壓后為實驗設(shè)備供氣，保證不間斷供氣。
（2）.氦氣（He）系統(tǒng)：氦氣由氣瓶間氣瓶提供，一用一備，經(jīng)過半自動切換面板調(diào)壓后為實驗設(shè)備供氣，保證不間斷供氣。
（3）.氬氣（Ar）系統(tǒng)：氬氣由氣瓶間氣瓶提供，一用一備，經(jīng)過半自動切換面板調(diào)壓后為實驗設(shè)備供氣，保證不間斷供氣。
（4）.氫氣（H2）系統(tǒng)：氫氣由氣瓶間氣瓶

GCE實驗室供氣系統(tǒng)設(shè)計

氣體管路系統(tǒng)
1. 由于氣瓶內(nèi)部壓力為150bar左右，而氣體進入設(shè)備時的使用壓力通常為10bar以下，氣體壓力有差異，而且數(shù)值差距較大，同時管路有共用情況，運行距離較長，故采用二級調(diào)壓方式，即在氣瓶出口處設(shè)置一級壓力調(diào)節(jié)閥（切換系統(tǒng)），在使用點設(shè)置二級壓力調(diào)節(jié)閥，以保證實驗的準確性。使用兩級調(diào)壓方式，也便于實驗調(diào)整及以后增加設(shè)備，可充分利用原氣體系統(tǒng)。
2. 二級減壓閥安裝在功能柱或?qū)嶒炇颐嫔希ㄖ挥幸粋€壓力表顯示減壓閥輸出壓力），可以同時控制多個使用點。對于要求單獨進行壓力調(diào)節(jié)的儀器，工作臺上氣體出口點需要安裝單獨的減壓閥門來控制。二級減壓閥和減壓表前安裝截止閥。
3. 可燃性氣體及助燃性氣體管路需要配備阻火器、單向閥等安全裝置。
4. 所有氣體管路必須由高質(zhì)量、*退火型的無縫不銹鋼管SS-316L(BA)組成。三通、1/2"及以下彎頭等采用成品配件。污染后的管道配件禁止使用。真空管道采用耐腐蝕性FRPP材質(zhì)，所有管件均采用FRPP材質(zhì)。
5. 安裝過程中，所有不銹鋼管道兩端用塑料蓋密封，外部有塑料套密封，在進入安裝現(xiàn)場后，安裝前，方可將塑料套拆封，并除去塑料蓋。所有管件在安裝進系統(tǒng)前，應(yīng)用高純氮氣（99.999%）進行三遍以上的吹掃。管道鋪設(shè)時，采用彎管器和切管器操作。管道切斷后，應(yīng)用工具處理斷口。
6. 所有管路沿天花板上方布設(shè)，若無天花板，則沿樓板下方鋪設(shè)，控制閥和減壓器安裝在功能柱內(nèi)或桌面上，便于維修人員的檢查和維修；進入實驗室通過功能柱連接到中央儀器臺。
7. 管道之間的連接采用TIG軌道自動焊接（數(shù)碼焊接），最大可能減少泄漏點和保證潔凈度。焊接前、焊接中、焊接后均嚴格按程序用高純氬氣（99.999%）不間斷吹掃管道。管道和閥件的連接方式采用雙卡套連接（卡套配件承壓安全值是管道的3倍），以便維修。
8. 管道穿墻及出地面（或樓板）處應(yīng)設(shè)置套管保護，套管內(nèi)的管段不應(yīng)有焊縫。套管穿墻處應(yīng)與墻平齊，穿地面（或樓板）處套管應(yīng)高出地面（或樓板）100mm。穿墻或樓板的套管的選擇參照GB-50235-2010(相關(guān)具體選型)。管道與套管之間采用非燃燒材料嚴密封堵。                                          GCE實驗室供氣系統(tǒng)設(shè)計