| 應(yīng)用領(lǐng)域 |
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日本富士多成分濃度計(jì)FUD-1 Model-53的產(chǎn)品簡(jiǎn)介：
保養(yǎng)性和高精度內(nèi)線測(cè)量等FUD-1 Model-53的好處就那樣，作為半導(dǎo)體制造工藝把小型單元型發(fā)信器作為特長(zhǎng)的模型。
日本富士多成分濃度計(jì)FUD-1 Model-53的產(chǎn)品簡(jiǎn)介：
保養(yǎng)性和高精度內(nèi)線測(cè)量等FUD-1 Model-53的好處就那樣，作為半導(dǎo)體制造工藝把小型單元型發(fā)信器作為特長(zhǎng)的模型。
內(nèi)置FUD-1 Model-53導(dǎo)電率計(jì)
日本富士多成分濃度計(jì)的特點(diǎn)：
實(shí)時(shí)3成分中的2成分濃度計(jì)側(cè)可能
標(biāo)準(zhǔn)配備模擬DC4～20mA(2系統(tǒng))及數(shù)字RS232C
標(biāo)準(zhǔn)配備測(cè)量錯(cuò)誤輸出和警報(bào)輸出
標(biāo)準(zhǔn)裝備自己診斷功能·錯(cuò)誤信息表示
小型·輕量小區(qū)型發(fā)信器在線直接設(shè)置可能
采用PFA的接液構(gòu)件、小輸出設(shè)計(jì)對(duì)藥液沒有影響
優(yōu)點(diǎn)：
高精度連續(xù)計(jì)測(cè)可能
無需定期調(diào)整、校對(duì)，無需維護(hù)
設(shè)置時(shí)的各種調(diào)整等不需要也容易設(shè)置
由于實(shí)時(shí)輸出的工程的反饋也容易
用途：
CMP工序CMPー及氧化劑濃度管理等
清洗過程中的清洗液濃度管理等(HF+HNO3?HF+H2SiF6等)
蝕刻工序中的蝕刻液濃度管理等(TMAH+注冊(cè)?TMAH+Si等)
規(guī)格：
型式FUD-1 Model-53
轉(zhuǎn)換器
測(cè)量參數(shù)超聲波傳播速度、溫度、導(dǎo)電率
顯示：LCD(濃度1?濃度2?溫度?音速?導(dǎo)電率/各種參數(shù))
輸出信號(hào)模擬DC4～20mA：2系統(tǒng)(可對(duì)濃度值自由設(shè)定)
數(shù)字RS232C(濃度1、濃度2、音速、溫度、導(dǎo)電率、錯(cuò)誤代碼)
警報(bào)上下限測(cè)量異常：2系統(tǒng)
電源AC100V～240V 50/60Hz兩用30VA (DC24V也可使用)
結(jié)構(gòu)：面板掛載型(根據(jù)DIN標(biāo)準(zhǔn))
環(huán)境溫度轉(zhuǎn)換器0～50℃
RH85%以下(未結(jié)露)
功能輸出范圍設(shè)定功能、警報(bào)輸出設(shè)定功能、濃度顯示移動(dòng)平均功能、濃度顯示偏移及增益設(shè)定功能、自我診斷功能、安全功能、異常值取消功能、溫度時(shí)常數(shù)修正
選項(xiàng)溫度輸出(DC4～20mA)
RS485輸出(不能與RS232C同時(shí)輸出)
通道(檢量線)大7ch
適配發(fā)信器例子SA-20S29+導(dǎo)電率計(jì)、SA-20S27+導(dǎo)電率計(jì)
形式發(fā)信器
SA-20S29+導(dǎo)電率計(jì)
SA-20S27+導(dǎo)電率計(jì)
振動(dòng)元件PZT(2MHz)x1 PZT(2MHz)x2
測(cè)量元件熱敏電阻
測(cè)量液溫度0～100℃0～80℃
構(gòu)造流體
接液部材PFA/PFA涂層PFA
接縫3/4英尺(可更改)3/4英尺(可更改)
耐壓0.3MPa 0.3MPa
流量5l/min(推薦)5l/min(推薦)
重量2.5kg 2.5kg
電纜電纜6m電纜6m
環(huán)境溫度5～45℃5～45℃
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