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能研8745 - 氣體流量控制器 (MFC)/流量測(cè)量?jī)x的操作使用
閱讀：617 發(fā)布時(shí)間：2024-5-228745 型質(zhì)量流量控制器/質(zhì)量流量計(jì)適用于大量氣體的質(zhì)量流量調(diào)控。8745 型設(shè)備可以根據(jù)需要配置為 MFM 或 MFC。
可以選擇校準(zhǔn)四種不同的氣體。直接位于氣流中的 Inline 熱傳感器能夠達(dá)到非?？斓捻憫?yīng)速度。
一個(gè)直動(dòng)式 Bürkert 比例閥作為執(zhí)行元件，確保了良好的響應(yīng)靈敏度。集成 PI 控制器，令 MFC 具備的控制特性。
8745 型作為 MFC 提供兩種規(guī)格：帶電磁比例閥和帶電動(dòng)比例閥
以下是一份氣體質(zhì)量流量控制器的一般使用說(shuō)明：
一、安裝
1. 選擇合適的安裝位置，確保環(huán)境溫度、濕度等符合設(shè)備要求。
2. 按照設(shè)備手冊(cè)正確連接氣體入口和出口管路，注意密封良好。
二、預(yù)熱
在使用或長(zhǎng)時(shí)間未使用后，需進(jìn)行適當(dāng)時(shí)間的預(yù)熱，以確保測(cè)量準(zhǔn)確性。三、設(shè)置與操作
1. 通過(guò)控制面板或配套軟件設(shè)置所需的流量值。
2. 可根據(jù)需要選擇不同的單位（如 SCCM、SLPM 等）。
3. 確認(rèn)設(shè)定的氣體類型與實(shí)際使用的氣體相符。
四、運(yùn)行與監(jiān)測(cè)
1. 開(kāi)啟氣體供應(yīng)，觀察流量顯示是否穩(wěn)定在設(shè)定值附近。
2. 定期檢查顯示數(shù)值與實(shí)際需求是否一致。
五、維護(hù)與保養(yǎng)
1. 定期清潔設(shè)備表面，防止灰塵等雜質(zhì)影響性能。
2. 按照規(guī)定的時(shí)間間隔進(jìn)行校準(zhǔn)，以保證測(cè)量精度。
3. 如發(fā)現(xiàn)故障或異常，應(yīng)及時(shí)停止使用并聯(lián)系專業(yè)人員維修。
六、注意事項(xiàng)
1. 嚴(yán)格按照設(shè)備規(guī)定的壓力、溫度范圍操作。
2. 避免強(qiáng)烈震動(dòng)和沖擊。
3. 對(duì)不同氣體可能需要特定的使用要求，務(wù)必遵循相關(guān)規(guī)定。