日本富士FUJI多成分濃度計(jì)（）

FUD-1 Model-53

產(chǎn)品簡介

保養(yǎng)性和高精度內(nèi)線測(cè)量等FUD-1 Model-53的好處就那樣，作為半導(dǎo)體制造工藝把小型單元型發(fā)信器作為特長的模型。

日本富士FUJI多成分濃度計(jì)（）

內(nèi)置FUD-1 Model-53導(dǎo)電率計(jì)

多成分濃度計(jì)的特點(diǎn)

實(shí)時(shí)3成分中的2成分濃度計(jì)側(cè)可能

標(biāo)準(zhǔn)配備模擬DC4～20mA（2系統(tǒng)）及數(shù)字RS232C

標(biāo)準(zhǔn)配備測(cè)量錯(cuò)誤輸出和警報(bào)輸出

標(biāo)準(zhǔn)裝備自己診斷功能·錯(cuò)誤信息表示

小型·輕量小區(qū)型發(fā)信器在線直接設(shè)置可能

采用PFA的接液構(gòu)件、小輸出設(shè)計(jì)對(duì)藥液沒有影響

優(yōu)點(diǎn)，優(yōu)點(diǎn)

高精度連續(xù)計(jì)測(cè)可能

無需定期調(diào)整、校對(duì)，無需維護(hù)

設(shè)置時(shí)的各種調(diào)整等不需要也容易設(shè)置

由于實(shí)時(shí)輸出的工程的反饋也容易

用途

CMP工序CMPー及氧化劑濃度管理等

清洗過程中的清洗液濃度管理等（HF+HNO3?HF+H2SiF6等）

蝕刻工序中的蝕刻液濃度管理等（TMAH+注冊(cè)?TMAH+Si等）

規(guī)格

型式FUD-1 Model-53

轉(zhuǎn)換器

測(cè)量參數(shù)超聲波傳播速度、溫度、導(dǎo)電率

顯示：LCD(濃度1?濃度2?溫度?音速?導(dǎo)電率/各種參數(shù))

輸出信號(hào)模擬DC4～20mA：2系統(tǒng)(可對(duì)濃度值自由設(shè)定)

數(shù)字RS232C(濃度1、濃度2、音速、溫度、導(dǎo)電率、錯(cuò)誤代碼)

警報(bào)上下限測(cè)量異常：2系統(tǒng)

電源AC100V～240V 50/60Hz兩用30VA (DC24V也可使用)

結(jié)構(gòu)：面板掛載型（根據(jù)DIN標(biāo)準(zhǔn)）

環(huán)境溫度轉(zhuǎn)換器0～50℃

RH85%以下(未結(jié)露)

功能輸出范圍設(shè)定功能、警報(bào)輸出設(shè)定功能、濃度顯示移動(dòng)平均功能、濃度顯示偏移及增益設(shè)定功能、自我診斷功能、安全功能、異常值取消功能、溫度時(shí)常數(shù)修正

選項(xiàng)溫度輸出(DC4～20mA)

RS485輸出(不能與RS232C同時(shí)輸出)

通道（檢量線）大7ch

適配發(fā)信器例子SA-20S29+導(dǎo)電率計(jì)、SA-20S27+導(dǎo)電率計(jì)

形式發(fā)信器

SA-20S29+導(dǎo)電率計(jì)

SA-20S27+導(dǎo)電率計(jì)

振動(dòng)元件PZT(2MHz)x1 PZT(2MHz)x2

測(cè)量元件熱敏電阻

測(cè)量液溫度0～100℃0～80℃

構(gòu)造流體

接液部材PFA/PFA涂層PFA

接縫3/4英尺（可更改）3/4英尺（可更改）

耐壓0.3MPa 0.3MPa

流量5l/min（推薦）5l/min（推薦）

重量2.5kg 2.5kg

電纜電纜6m電纜6m

環(huán)境溫度5～45℃5～45℃

如有需求，請(qǐng)見：  日本富士FUJI超聲波濃度計(jì)