日本易威奇IWAKI全氟材質(zhì)高精度分辨率泵
小流量達(dá)1mL/shot，為晶圓清洗過程中所需的化學(xué)凝結(jié)控制，提供更高的準(zhǔn)確性。CFD系列能提供準(zhǔn)確流量，防止過量添加或液體浪費(fèi)。此外，防虹吸設(shè)計(jì)防止意外吸入。

易威奇生產(chǎn)的化工泵種類齊全，從1956年創(chuàng)立開始，不斷研制推出多系列寬用途的新產(chǎn)品，至今已有500多個(gè)標(biāo)準(zhǔn)型號(hào)，從結(jié)構(gòu)輕巧精密的OEM（設(shè)備配套）產(chǎn)品，到zui高級(jí)別的「氟材質(zhì)磁驅(qū)離心泵」、「定量添液泵」和「水質(zhì)控制器」，易威奇化工泵廣泛應(yīng)用于化工、石化、環(huán)保、電鍍、印刷電路板、造紙、及半導(dǎo)體等行業(yè)。

 

日本易威奇IWAKI全氟材質(zhì)高精度分辨率泵CFD 系列：

全氟材質(zhì)、高精度、分辨率高達(dá)1.0mL/shot、
精細(xì)流量調(diào)節(jié)的化學(xué)液補(bǔ)充系統(tǒng)

高分辨率

小流量達(dá)1mL/shot，為晶圓清洗過程中所需的化學(xué)凝結(jié)控制，提供更高的準(zhǔn)確性。CFD系列能提供準(zhǔn)確流量，防止過量添加或液體浪費(fèi)。此外，防虹吸設(shè)計(jì)防止意外吸入。

 

耐腐蝕過流端

氟材質(zhì)口過流端(PTFE / PFA / PCTFE)是能夠處理半導(dǎo)體加工所用的強(qiáng)酸、強(qiáng)堿和雙氧水。針對(duì)化學(xué)腐蝕，PTFE / PFA / PP / PVC材質(zhì)外部零件和PTFE涂層螺絲能提供額外的保護(hù)。

 

寬廣的吐出率調(diào)節(jié)

打開底蓋可輕松在1.0-2.7ml/shot之間調(diào)節(jié)沖程長度 (出廠默認(rèn)設(shè)定是1.0ml/shot)。

 

配備泄漏傳感器

每臺(tái)泵都配有泄漏傳感器，可實(shí)時(shí)檢測(cè)任何泄漏情況。

 

日本易威奇IWAKI全氟材質(zhì)高精度分辨率泵規(guī)格：

大吐出量	1 mL/shot
大吐出壓力	0.05 MPa
大沖程率	30 spm
主要材質(zhì)	PTFE, PFA, PCTFE
液體輸送溫度范圍	20 ~ 60 °C

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