應(yīng)用領(lǐng)域 |
化工,石油,地礦,電子,交通 |
AMO 是一家非營(yíng)利性中小企業(yè),其使命是為技術(shù)融合帶來(lái)的創(chuàng)新開(kāi)辟道路。 特別是解決了微電子和光電子之間的融合問(wèn)題,以及從中出現(xiàn)的創(chuàng)新潛力的開(kāi)發(fā)。 成功實(shí)現(xiàn)這一使命的戰(zhàn)略是基于被確定為最有希望的創(chuàng)新來(lái)源的關(guān)鍵使能技術(shù) (KET) 的集中度。 這種戰(zhàn)略緊密地局限于創(chuàng)新,因?yàn)閯?chuàng)新是發(fā)現(xiàn)、發(fā)明和洞察力的交叉點(diǎn),從而產(chǎn)生了經(jīng)濟(jì)價(jià)值。
AMO:高性能紫外線納米壓印抗蝕劑
UV納米壓印是一種機(jī)械成型技術(shù)。由石英或具有 3D 浮雕的柔性彈性體制成的模板與基板頂部旋涂的 UV 固化抗蝕劑緊密接觸。由于壓印抗蝕劑的低粘度,在室溫下施加低壓印壓力會(huì)在幾秒鐘內(nèi)填充特征。抗蝕劑通過(guò)模板背面的紫外光硬化。最后,分離基板和模板。復(fù)制的抗蝕劑浮雕可以進(jìn)一步通過(guò)RIE工藝轉(zhuǎn)移到基板中或用作功能元件。
基于在納米壓印領(lǐng)域的廣泛長(zhǎng)期經(jīng)驗(yàn),AMO 開(kāi)發(fā)了一種可商用的 UV 固化抗蝕劑 (AMONIL®) 和匹配的粘合促進(jìn)劑 (AMOPRIME)。
AMO 的 NANOIMPRINT RESIST AMONIL®:
AMO GmbH 在一系列項(xiàng)目中從事 UV-Nanoimprint 光刻技術(shù)的研究和開(kāi)發(fā)超過(guò) 15 年?;谶@些豐富的經(jīng)驗(yàn),我們能夠設(shè)計(jì) AMO并定期對(duì)其進(jìn)行改進(jìn)。該抗蝕劑將出色的涂層和壓印性能與出色的圖案保真度和合理的等離子體穩(wěn)定性相結(jié)合。
上海薩起工業(yè)控制設(shè)備有限公司 (簡(jiǎn)稱:上海薩起)自成立以來(lái)就一直致力于世界工業(yè)設(shè)備,具有4000余家歐洲廠家或貿(mào)易商直接供貨,公司優(yōu)勢(shì)采購(gòu)成本低:我司總部位于德國(guó),源頭采購(gòu),100%原裝并享受德國(guó)本國(guó)企業(yè)的價(jià)格折扣,部分品牌的部分產(chǎn)品系列我公司可以拿到。
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