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安徽科冪儀器有限公司>>爐式設(shè)備>>TFC化學(xué)氣相沉積>> TFE-1200-50-220單溫區(qū)PE-CVD系統(tǒng)

單溫區(qū)PE-CVD系統(tǒng)

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參考價(jià) 面議
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 型號(hào) TFE-1200-50-220
  • 品牌 科冪儀器
  • 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)商
  • 所在地 合肥市
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更新時(shí)間:2024/07/29 16:35:01瀏覽次數(shù):2143

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

產(chǎn)地類(lèi)別 國(guó)產(chǎn) 加熱方式 電阻絲
價(jià)格區(qū)間 面議 控溫精度 ±1℃
內(nèi)部尺寸 Φ80*220mmmm 升溫速度(達(dá)到最高溫) ≤10℃//min
儀器種類(lèi) 管式爐 應(yīng)用領(lǐng)域 化工,能源,電子,冶金,綜合
最大功率 3KkW 最高溫度 1200℃
單溫區(qū)PE-CVD系統(tǒng)高性能射頻電源.等離子體更穩(wěn)定;滑軌式結(jié)構(gòu)能使整個(gè)反應(yīng)腔室都處于輝光產(chǎn)生區(qū).并可實(shí)現(xiàn)快速升溫和降溫功能;
與傳統(tǒng)CVD相比較.生長(zhǎng)溫度更低

詳細(xì)介紹

單溫區(qū)PE-CVD系統(tǒng)

特點(diǎn):高性能射頻電源.等離子體更穩(wěn)定;

滑軌式結(jié)構(gòu)能使整個(gè)反應(yīng)腔室都處于輝光產(chǎn)生區(qū).并可實(shí)現(xiàn)快速升溫和降溫功能;

單溫區(qū)PE-CVD系統(tǒng)與傳統(tǒng)CVD相比較.生長(zhǎng)溫度更低


技術(shù)參數(shù)



項(xiàng)目


型號(hào)
TFE - 1200 - 50 -  220 單溫區(qū)PE-CVD系統(tǒng)


可達(dá)溫度


1150℃(短期)


額定溫度


1100℃


推薦升溫速率


≤10℃/min


控制精度


±1℃


爐管尺寸


Φ30/50/60*1200mm


爐膛尺寸


Φ80*220mm


加熱區(qū)長(zhǎng)度


220mm


恒溫區(qū)長(zhǎng)度


80mm


加熱元件


優(yōu)質(zhì)國(guó)產(chǎn)電阻絲


額定功率


3KW


供氣系統(tǒng)


三路高精度MFC 量程0-500sccm(可定制)


射頻電源


射頻功:5-500W;射頻頻:13.56MHz;匹配方式:自動(dòng)匹配


真空系統(tǒng)


雙級(jí)旋片真空泵(可定制擴(kuò)散泵 分子泵等)


外形尺寸


1250*510*810mm




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