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| 產(chǎn)地類別 | 國產(chǎn) | 加熱方式 | 電阻絲 |
|---|---|---|---|
| 價格區(qū)間 | 面議 | 控溫精度 | ±1℃ |
| 內(nèi)部尺寸 | Φ80*220mmmm | 升溫速度（達(dá)到最高溫） | ≤10℃//min |
| 儀器種類 | 管式爐 | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 化工,能源,電子,冶金,綜合 |
| 最大功率 | 3KkW | 最高溫度 | 1200℃ |
與傳統(tǒng)CVD相比較.生長溫度更低
產(chǎn)品簡介
詳細(xì)介紹
單溫區(qū)PE-CVD系統(tǒng)
特點：高性能射頻電源.等離子體更穩(wěn)定；
滑軌式結(jié)構(gòu)能使整個反應(yīng)腔室都處于輝光產(chǎn)生區(qū).并可實現(xiàn)快速升溫和降溫功能；
單溫區(qū)PE-CVD系統(tǒng)與傳統(tǒng)CVD相比較.生長溫度更低
技術(shù)參數(shù)
項目 | 型號 | TFE - 1200 - 50 - 220 單溫區(qū)PE-CVD系統(tǒng) |
可達(dá)溫度 | 1150℃（短期） | |
額定溫度 | 1100℃ | |
推薦升溫速率 | ≤10℃/min | |
控制精度 | ±1℃ | |
爐管尺寸 | Φ30/50/60*1200mm | |
爐膛尺寸 | Φ80*220mm | |
加熱區(qū)長度 | 220mm | |
恒溫區(qū)長度 | 80mm | |
加熱元件 | 優(yōu)質(zhì)國產(chǎn)電阻絲 | |
額定功率 | 3KW | |
供氣系統(tǒng) | 三路高精度MFC 量程0-500sccm（可定制） | |
射頻電源 | 射頻功：5-500W；射頻頻：13.56MHz；匹配方式：自動匹配 | |
真空系統(tǒng) | 雙級旋片真空泵（可定制擴散泵 分子泵等） | |
外形尺寸 | 1250*510*810mm | |
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