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介電常數(shù)的重要性

閱讀:614        發(fā)布時(shí)間:2024/10/24
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介電常數(shù)(Dielectric Permittivity)和磁導(dǎo)率(Permeability)是描述介電材料的電磁特性的主要參數(shù)。它們是隨著頻率、溫度等參數(shù)變化的。介電常數(shù)的重要性在于,它是研究材料與電磁波相互作用時(shí)的核心參數(shù)之一。

例如,高介電常數(shù)材料是當(dāng)前微電子行業(yè)熱門的研究課題之一。它的應(yīng)用為解決當(dāng)前半導(dǎo)體器件尺寸縮小導(dǎo)致的柵氧層厚度極限問題提供了可能性,同時(shí)利用一些高介電常數(shù)材料具有的特殊物理特性,可實(shí)現(xiàn)具有特殊性能的新型器件。

而低介電常數(shù)材料的研究也在世界范圍內(nèi)展開,這些低介電常數(shù)材料需具備以下性質(zhì):在電性能方面,要有低損耗和低泄漏電流;在機(jī)械性能方面,要有高附著力和高硬度,否則外力將易于跨越材料的降伏強(qiáng)度,勢(shì)必導(dǎo)致斷線危機(jī),進(jìn)而破壞組件的運(yùn)作;在化學(xué)性能方面,要能耐腐蝕和有低吸水性;在熱性能方面,要有高穩(wěn)定性和低收縮性。由于普遍采用的介電材料SiO2,已經(jīng)不能滿足超大規(guī)模集成電路(ULSI)發(fā)展的需求,所以多年來人們一直都在努力尋找各種合適的低介電常數(shù)材料。

 

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