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原裝日本黑田精工KURODA表面形狀測(cè)量系統(tǒng)

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  • 型號(hào) NANOMETRO®TT系列
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  • 廠商性質(zhì) 代理商
  • 所在地 上海市
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更新時(shí)間：2019-04-09 14:31:17瀏覽次數(shù)：636

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原裝日本黑田精工KURODA表面形狀測(cè)量系統(tǒng)
NANOMETRO®TT系列是用于縱向旋轉(zhuǎn)、邊緣夾持式晶圓的平整度測(cè)量裝置。邊緣排除區(qū)小1mm，可進(jìn)行盒至盒的高精度自動(dòng)測(cè)量。評(píng)價(jià)項(xiàng)目依據(jù)SEMI標(biāo)準(zhǔn)。

詳細(xì)介紹

原裝日本黑田精工KURODA表面形狀測(cè)量系統(tǒng)

表面輪廓測(cè)量是一款高精度的大型綜合測(cè)量?jī)x器，包括粗糙度測(cè)量系統(tǒng)、直接輪廓測(cè)量系統(tǒng)和形狀測(cè)量系統(tǒng)。它可以測(cè)量和評(píng)估粗糙度和直接輪廓參數(shù)，還可以測(cè)量角度、圓弧半徑、相互位置等形狀參數(shù)。

特點(diǎn)

根據(jù)表面和背面同步檢測(cè)得到的放射狀測(cè)量結(jié)果，提供符合客戶需求的分析軟件。

       

      

       

原裝日本黑田精工KURODA表面形狀測(cè)量系統(tǒng)

性能、規(guī)格

項(xiàng)目NANOMETRO®300TTNANOMETRO®200TT
量程φ300mmφ200mm
顯示分辨率1nm
測(cè)頭非接觸激光位移計(jì)
測(cè)量方式縱向旋轉(zhuǎn)方式

 

具體內(nèi)容詳見(jiàn)：日本黑田精工KURODA表面形狀測(cè)量系統(tǒng)

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