日本進(jìn)口流量控制器流量計(jì)1/4F9 10SCCM N2
數(shù)字質(zhì)量流量裝置采用具有出色穩(wěn)定性的高速繞線傳感器和較小的比例電磁閥，并具有標(biāo)準(zhǔn)的通訊功能（RS485），可實(shí)現(xiàn)高精度和高速響應(yīng)。
出色的零點(diǎn)穩(wěn)定性和快速響應(yīng)。
輸入/輸出信號(hào)為0-5V，電源為±15V。

日本進(jìn)口流量控制器流量計(jì)1/4F9 10SCCM N2

數(shù)字質(zhì)量流量裝置采用具有出色穩(wěn)定性的高速繞線傳感器和較小的比例電磁閥，并具有標(biāo)準(zhǔn)的通訊功能（RS485），可實(shí)現(xiàn)高精度和高速響應(yīng)。
出色的零點(diǎn)穩(wěn)定性和快速響應(yīng)。
輸入/輸出信號(hào)為0-5V，電源為±15V。

日本進(jìn)口流量控制器流量計(jì)1/4F9 10SCCM N2

 

數(shù)字質(zhì)量流量裝置采用具有出色穩(wěn)定性的高速繞線傳感器和較小的比例電磁閥，并具有標(biāo)準(zhǔn)的通訊功能（RS485），可實(shí)現(xiàn)高精度和高速響應(yīng)。
出色的零點(diǎn)穩(wěn)定性和快速響應(yīng)。
輸入/輸出信號(hào)為0-5V，電源為±15V。
電源連接器使用多功能的D-sub 9槽連接器。
通過(guò)旋轉(zhuǎn)旋轉(zhuǎn)開(kāi)關(guān)，可以使用主機(jī)中注冊(cè)的氣體類(lèi)型。
符合RoHS / CE標(biāo)準(zhǔn)。
引出單元是一種方便的單元，可以與質(zhì)量流量控制器或帶有電纜的質(zhì)量流量計(jì)一起使用，以使用質(zhì)量流量的基本功能（例如流量測(cè)量和控制）以及流量積分功能和流量事件輸出功能。

產(chǎn)品規(guī)格

型號(hào)	EX-250S-C
電源電壓	±15V
合身	1 / 4F900（126.6毫米）
流動(dòng)性	N 2
FS流量	10SCCM
標(biāo)定溫度	20℃
輸入信號(hào)	電壓輸入
輸出信號(hào)	電壓輸出
工作壓力	150?300kPa
傳感器方式	熱繞組傳感器
閥門(mén)系統(tǒng)	比例電磁閥（未通電時(shí)關(guān)閉）
目標(biāo)氣體	N 2
流量范圍	10SCCM
控制范圍	2?100％（FS）
反應(yīng)性	1秒內(nèi)的總流量控制范圍（在±2％FS之內(nèi)），150kPa至300kPa
準(zhǔn)確度	FS±1.0％
重現(xiàn)性	FS±0.2％
工作壓差	50?300kPa
大入口壓力	500kPa（克）
耐壓性	980kPa（大）
他漏率	1×10 -8 Pa ? m 3 /秒以下
容許環(huán)境溫度	5?50℃
精度保證溫度	15?35℃
儲(chǔ)存溫度	-10?60℃
容許環(huán)境濕度	相對(duì)濕度10至90％（無(wú)凝結(jié)）
氣體接觸零件	SUS316，SUS316L，電磁不銹鋼（僅控制器），PTFE，F(xiàn)KM
電氣連接	Dsub引腳KFC標(biāo)準(zhǔn)（符合SEMI標(biāo)準(zhǔn)）HR-10A
流量設(shè)定輸入信號(hào)	0至5VDC（輸入阻抗約1MΩ）
流量輸出信號(hào)	0至5VDC（負(fù)載電阻10kΩ或更高）
數(shù)字信號(hào)	通過(guò)RS485旋轉(zhuǎn)開(kāi)關(guān)設(shè)置地址
所需功率（直流）	+ 15VDC（±5％）100mA以下，-15VDC（±5％）150mA以下或+ 24VDC（±10％）180mA以下
安裝方向	水平推薦
機(jī)重	約500克
數(shù)量	1個(gè)
單位	件

相關(guān)產(chǎn)品

	產(chǎn)品名稱(chēng)	正	正常售價(jià)
	質(zhì)量流量控制器1 / 4F9 100SCCM N2	圓	登錄后價(jià)格可以確認(rèn)
	質(zhì)量流量控制器1 / 4F9 500SCCM N2	圓	登錄后價(jià)格可以確認(rèn)
	質(zhì)量流量控制器1 / 4F9 1SLM N2	圓	登錄后價(jià)格可以確認(rèn)
	質(zhì)量流量控制器1 / 4F9 5SLM N2	圓	登錄后價(jià)格可以確認(rèn)
	質(zhì)量流量計(jì)1 / 4F9 10SCCM N2	圓	登錄后價(jià)格可以確認(rèn)
	質(zhì)量流量計(jì)1 / 4F9 100SCCM N2	圓	登錄后價(jià)格可以確認(rèn)
	質(zhì)量流量計(jì)1 / 4F9 500SCCM N2	圓	登錄后價(jià)格可以確認(rèn)
	質(zhì)量流量計(jì)1 / 4F9 1SLM N2		登錄后價(jià)格可以確認(rèn)
	質(zhì)量流量計(jì)1 / 4F9 5SLM N2

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